[實用新型]一種mems傳聲器無效
| 申請號： | 200920280440.1 | 申請日： | 2009-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN201577175U | 公開（公告）日： | 2010-09-08 |
| 發明（設計）人： | 滕大成;劉加校 | 申請（專利權）人： | 濰坊新港電子有限公司 |
| 主分類號： | H04R1/04 | 分類號： | H04R1/04 |
| 代理公司： | 濰坊鳶都專利事務所 37215 | 代理人： | 杜希現 |
| 地址： | 261031 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 mems 傳聲器 | ||
【權利要求書】：
1.一種mems傳聲器，包括基板(1)，基板(1)上粘貼有MEMS傳感器(2)和處理芯片(3)，基板(1)上安裝有罩住MEMS傳感器(2)和處理芯片(3)的外殼(4)，外殼(4)上設有音孔(5)，MEMS傳感器(2)與處理芯片(3)構成電連接，其特征是：與MEMS傳感器(2)相鄰的基板(1)側面粘貼有層狀腔體片(6)，MEMS傳感器(2)粘貼在腔體片(6)上，腔體片(6)的溫度系數與MEMS傳感器(2)的溫度系數相同或接近。
2.如權利要求1所述的mems傳聲器，其特征是：處理芯片(3)也粘貼在腔體片(6)上。
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