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[實用新型]一種用于研磨或拋光玻璃基板的至少一條邊緣的設備有效

專利信息
申請號: 200920266114.5 申請日: 2009-10-30
公開(公告)號: CN202292332U 公開(公告)日: 2012-07-04
發明(設計)人: J·W·布朗;B·R·拉杰 申請(專利權)人: 康寧股份有限公司
主分類號: B24B9/10 分類號: B24B9/10;B24B55/02
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100 代理人: 胡曉萍
地址: 美國*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 研磨 拋光 玻璃 至少 一條 邊緣 設備
【說明書】:

本申請要求2008年10月31日提交的美國專利第61/110184號的優先權權益。?

技術領域

本實用新型總地涉及顯示器玻璃基板,且具體涉及一種用于玻璃基板邊緣修整的系統。?

背景技術

平板顯示器基板的制造工藝需要特定尺寸的玻璃基板,該基板能夠在標準的生產裝置上進行處理。為了得到具有適當尺寸的基板,采用機械劃刻和斷開工藝,或采用激光劃刻技術。這些確定尺寸的方法中的每種都需要邊緣修整。修整工藝包括對邊緣進行研磨和/或拋光,以去除尖銳的邊緣及會使基板的強度和耐久度降低的其它缺陷。另外,在制造LCD面板中有許多需要操作的工藝步驟。因此,用于液晶顯示器(LCD)的玻璃基板要有能足夠承受機械操作和接觸的邊緣。?

經修整的邊緣是通過用金屬研磨砂輪研磨未經修整的邊緣而形成。在常規系統中,玻璃基板被放置在卡盤上并行進經過一系列的研磨位置。每個位置裝配有根據置于砂輪上的砂粒的粗糙度/細度的不同而不同的研磨砂輪。在玻璃基板通過每個研磨位置之后修整工藝完成。然而,當玻璃沒有相對于砂輪適當對準時,修整后的玻璃基板質量就會下降。具體來說,玻璃未對準會對玻璃的尺寸精度產生負面影響。其次,玻璃未對準會使邊緣質量較差,這通常導致基板的強度較差。因而,在LCD處理步驟中會發生基板破裂。由于要求顯示器的尺寸越來越大,使上述問題進一步惡化。這樣的要求以及規模經濟效益促使有源陣列液晶顯示器(AMLCD)制造商生產更大的顯示器基板。因此提供具有必需有的邊緣質量、尺寸精度和強度的較大顯示器基板是十分重要的。?

考慮有三種措施來解決上述問題。在一種措施中,基板制造商考慮可提供改善對準精度的研磨系統。遺憾的是,由于LCD的制造商使用越來越大的基板,當基板尺寸增加時,對對準公差的要求也越來越嚴格。精確的對準越來越重要,因為在處理較大的基板時,小的偏斜角會轉化成為較大的誤差。這種措施的一個缺點是雖然可以得到具有要求精度的對準工具,但由于磨損,無法長久保持該精度。?

在另一種所考慮的措施中,可采用通過去除更多的材料來補償對準精度的不足的研磨系統。通常,邊緣修整研磨系統僅需去除大約100微米的材料。該概念就是提供較大的基板,去除正確的量來滿足尺寸需要。完成該目標的一種方法是使用包括多重研磨步驟的系統。這就轉化為更多的砂輪軸和更多的砂輪。該方法的一個缺點在于附屬加處理裝置的花費。另外,一旦得到這樣的裝置,就需要對更多的裝置進行更多的維護。去除更多材料的另一種措施是采用更粗糙的砂輪。遺憾的是,由于更粗糙的修整使基板更易破裂,因此這一選擇并沒有吸引力。?

去除更多材料的又一種方式是使基板橫向經過修整系統的速度減慢。遺憾的是,該方法會降低生產量和研磨邊緣質量。另外,如果要保持生產量的話就需要增加資金預算。?

在所考慮的又一種方式中,可使用跟蹤基板邊緣的自對準研磨系統。該壓力進給研磨方法施加垂直于基板邊緣的預定的力。砂輪通過繞樞軸件旋轉而隨著邊緣的即時位置移動,或跟蹤該位置。由于砂輪的位置是由基板邊緣的位置決定的,最后生成的基板產品相對于常規研磨的基板來說提高了尺寸精度。遺憾的是,該技術同樣也有缺點。在常規壓力進給系統中所采用的柱形樞軸包括機械軸承。為了克服這些機械軸承的摩擦力,必須施加約為16N的垂直力。該力超出了玻璃基板的強度,如果施加了那樣的力則會發生破裂。雖然壓力進給研磨法是有前途的,但在上述問題沒有解決之前無法使用。?

考慮到上述內容,希望提供一種構造為去除精確玻璃量、同時又保持邊緣質量的邊緣修整設備。還需要提供一種提高尺寸精度的邊緣修整設備。另外,該邊緣修整設備應可適時地對玻璃的邊緣進行修整,而不會降低所需的玻璃強度和邊緣質量屬性。所需要的是一種可提供上述特征同時又可克服以上所討論?的常規壓力進給研磨系統的局限性的壓力進給研磨設備。?

發明內容

本實用新型旨在解決上述的需求。本實用新型的壓力進給研磨設備提供一種克服常規壓力進給研磨系統的局限性的無摩擦系統。本實用新型提供了一種邊緣修整設備,該設備構造成可去除精確量的玻璃。這樣,與由常規系統修整的玻璃基板相比,通過本實用新型修整的玻璃基板的尺寸與接受板材的尺寸接近得多。另外,本實用新型提供具有較高強度和邊緣質量的經修整的玻璃基板。?

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