[實用新型]一種用于研磨或拋光玻璃基板的至少一條邊緣的設備

有效

• 申請號: 200920266114.5
• 申請日: 2009-10-30
• 公開（公告）號: CN202292332U
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: J·W·布朗;B·R·拉杰
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: B24B9/10
• 分類號: B24B9/10;B24B55/02
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 胡曉萍

1.一種用于研磨或拋光玻璃基板的至少一條邊緣的設備，所述設備包括：

研磨單元，所述研磨單元構造成在對準位置時從所述至少一條邊緣去除預定量的材料；

空氣支承滑動系統，所述空氣支承滑動系統與所述研磨單元聯接，并構造成在加壓空氣薄層上沿預定軸線滑動，所述加壓空氣薄層提供零摩擦負載支承界面；以及

線性致動電動機，所述線性致動電動機與所述空氣支承滑動系統聯接，并構造成控制所述空氣支承滑動系統的運動，使得所述研磨單元從非對準位置移動到對準位置，由此所述研磨單元施加垂直于所述至少一條邊緣的預定的力，所述預定的力與所述預定的量成正比并小于致使所述玻璃基板破裂的垂直力。

2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述空氣支承滑動件還包括：

加壓空氣單元，所述加壓空氣單元構造成提供連續的加壓空氣流；

軌道件，所述軌道件與所述加壓空氣單元聯接，所述軌道件包括多孔介質，所述多孔介質構造成提供加壓空氣薄層，所述空氣薄層具有大致均勻的壓力；

滑動件，所述滑動件設置在所述軌道件上，并構造成支承所述研磨單元，在研磨操作過程中，所述薄層將所述滑動件與所述軌道件分開。

3.如權利要求2所述的設備，其特征在于，還包括與所述滑動件連接的支承支架，所述支承支架還構造成支承所述研磨單元。

4.如前述權利要求中任一項所述的設備，其特征在于，所述研磨單元還包括：

支承支架，所述支承支架聯接到所述空氣支承滑動系統，并設置在所述空氣支承滑動系統的支承區域上；

研磨裝置，所述研磨裝置與所述支承支架連接并由所述支承支架支承，并構造成研磨或拋光所述至少一條邊緣。

5.如權利要求4所述的設備，其特征在于，所述研磨裝置還包括：

主軸電動機，所述主軸電動機支承地連接到所述支承支架；以及

砂輪，所述砂輪可操作地與所述主軸電動機聯接，并所述由主軸電動機驅動，從而以預定的速率運行。

6.如權利要求1至3中任一項所述的設備，其特征在于，所述預定的力基本在1N-6N的范圍內，且所述預定的量基本在25微米-150微米的范圍內。

7.如權利要求6所述的設備，其特征在于，所述預定的力大致等于4N，且從所述邊緣去除的所述預定的材料量大致等于100微米。

8.如權利要求1至3中任一項所述的設備，其特征在于，所述線性致動電動機編程成根據砂輪磨損改變所述預定的垂直力。

9.如權利要求1至3中任一項所述的設備，其特征在于，還包括傳送單元，所述傳送單元靠近所述研磨單元設置，所述傳送單元構造成支承所述玻璃基板并在研磨和/或拋光工藝步驟期間相對于所述研磨單元沿切向移動所述玻璃基板。

10.如權利要求9所述的設備，其特征在于，所述傳送系統還包括：

真空夾盤，所述真空夾盤用于在研磨和/或拋光工藝步驟中將所述玻璃基板固定在固定位置上；

傳送器，所述傳送器與所述真空夾盤聯接，并構造成沿直線方向相對于所述研磨單元以預定速率移動所述真空夾盤，或相反所述研磨單元可相對于所述真空夾盤移動；以及

冷卻機構，所述冷卻機構靠近所述研磨單元與所述至少一條邊緣的界面設置。