[實用新型]一種排列晶粒的模具

無效

• 申請號: 200920257816.7
• 申請日: 2009-11-03
• 公開（公告）號: CN201532941U
• 公開（公告）日: 2010-07-21
• 發明（設計）人: 陳建民;陳建衛;陳磊;陳燕青
• 申請（專利權）人: 河南鴻昌電子有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及半導體加工領域，具體地說是涉及一種排列晶粒的模具。

背景技術

在半導體加工過程中，需要將多個晶粒整齊地排列起來，所使用的工具就是模具，現有技術中一種模具是中間具有多個孔的整體結構，這樣的模具具有加工費事、成本高的缺點；還有一種是由縱橫兩組模具片組成的，縱橫兩組模具片具有相互嚙合的相對缺口，其嚙合以后之間形成多個孔，可以安放晶粒，這樣的模具具有穩定性差、個別模片容易散落的缺點。

發明內容

本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種穩定性好、模片不易脫落、成本低的排列晶粒的模具。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：排列晶粒的模具，其特征是：由框體和模具片組組成，多個模具片組成模具片組，所述的模具片組又由縱模具片組和橫模具片組組成，縱模具片組和橫模具片組具有相互嚙合的相對缺口，其嚙合以后之間形成多個孔；框體具有轄住模具片組的結構，縱模具片組和橫模具片組嚙合后，轄在框體內。

模具片組的周圍還具有出頭部分，為了安裝更牢固，框體還具有轄住模具片組出頭部分的轄槽，出頭部分轄在轄槽內。

本實用新型的有益效果是：

1、由于有框體，其具有穩定效果好的特點；

2、由于框體有轄槽，模片不易脫落；

3、由框體和模具片組組成的分體結構，具有成本低的優點。

附圖說明

圖1是本實用新型排列晶粒的模具的結構示意圖

圖2是模具片的結構示意圖

圖3是框體的結構示意圖

其中；1、框體?2、模具片?3、缺口?4、轄槽?5、出頭部分

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步的描述。

如圖1所示，排列晶粒的模具，其特征是：由框體1和模具片2組組成，多個模具片2組成模具片組，所述的模具片組又由縱模具片組和橫模具片組組成，縱模具片組和橫模具片組具有相互嚙合的相對缺口3，其嚙合以后之間形成多個孔；框體1具有轄住模具片組的結構，縱模具片組和橫模具片組嚙合后，轄在框體內。

模具片組的周圍還具有出頭部分5，如圖2所示，為了安裝更牢固，框體1還具有轄住模具片組出頭部分的轄槽4，如圖3所示，出頭部分5轄在轄槽4內。

安放時，縱橫兩組模具片2相對缺口3相互嚙合后安放在框體1中，轄槽4轄住出頭部分5，兩組模具片2間隔成的孔可以安放晶粒。