[實(shí)用新型]頂桿裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920236790.8
• 申請(qǐng)日: 2009-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN201540907U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;范繼良;劉惠森;王曼媛;王勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種頂桿裝置，固定安裝于真空腔體外且其一端密封的伸入真空腔體內(nèi)，所述頂桿裝置包括垂直升降裝置、支撐板及至少三組頂桿組件，所述垂直升降裝置與所述支撐板連接，所述頂桿組件的一端呈對(duì)稱的連接于所述支撐板上，所述頂桿組件的另一端密封伸入所述真空腔體內(nèi)，其特征在于：所述頂桿組件包括頂桿、彈性元件、固定軸及軸套，所述軸套具有呈中空結(jié)構(gòu)的行程腔，所述行程腔貫穿所述軸套，所述軸套的上端伸入所述真空腔體內(nèi)且與所述真空腔體密封地樞接，所述固定軸的上端伸入位于所述軸套的下端的行程腔內(nèi)并螺紋連接，所述固定軸的下端與所述支撐板固定連接，所述頂桿套于所述軸套的行程腔內(nèi)且伸出所述軸套的上端并與所述行程腔卡接，所述彈性元件呈壓縮狀的抵觸于所述固定軸與所述頂桿之間并收容于所述行程腔內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的頂桿裝置，其特征在于：所述頂桿的中部向外凸出形成凸起，所述凸起與所述頂桿的上端形成第一臺(tái)階，所述凸起與所述頂桿的下端形成第二臺(tái)階，所述第一臺(tái)階與所述行程腔卡接，所述第二臺(tái)階與所述彈性元件相抵觸。

3.如權(quán)利要求1所述的頂桿裝置，其特征在于：所述軸套的下端的行程腔的腔壁上開設(shè)有內(nèi)螺紋，所述固定軸的上端開設(shè)有與所述內(nèi)螺紋相嚙合的外螺紋。

4.如權(quán)利要求1所述的頂桿裝置，其特征在于：所述頂桿裝置還包括波紋管，所述波紋管的上端與所述真空腔體的底部密封連接，與所述波紋管密封連接的真空腔體處開設(shè)有通道孔，所述軸套的上端自由的穿過所述通道孔，所述軸套的下端及所述固定軸的上端套于所述波紋管內(nèi)，所述波紋管的下端與所述固定軸的下端密封連接。

5.如權(quán)利要求4所述的頂桿裝置，其特征在于：所述固定軸的下端向外延伸形成軸肩，所述軸肩與所述波紋管的下端密封連接。

6.如權(quán)利要求3所述的頂桿裝置，其特征在于：所述固定軸的上端還嚙合有螺母。

7.如權(quán)利要求1所述的頂桿裝置，其特征在于：伸出所述軸套的上端的所述頂桿的頂面呈弧形。