[實(shí)用新型]頂桿裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920236790.8
• 申請(qǐng)日: 2009-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN201540907U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;范繼良;劉惠森;王曼媛;王勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種頂桿機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種適用于對(duì)真空腔體內(nèi)物件進(jìn)行升降并具有緩沖功能的組合式的頂桿裝置。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光二極管(OLED，Organic?Light-Emitting?Diode)是一種新的極具潛力的顯示器技術(shù)，因其簡(jiǎn)單的純固態(tài)器件結(jié)構(gòu)及其出色的圖像質(zhì)量，加上自發(fā)光、無視角障礙、低溫特性好等優(yōu)點(diǎn)，OLED顯示器已被認(rèn)為繼液晶顯示、等離子顯示器之后最具市場(chǎng)價(jià)值的新一代平板顯示器。OLED的制作過程大都采用以ITO(indium?tin?oxide)玻璃為基板，利用蒸鍍?cè)O(shè)備將多層薄膜相繼沉積在玻璃基板上，其工藝一般為在玻璃基板上形成一透明陽極，在陽極上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層，最后是金屬陰極層，其中發(fā)光層依次為紅、綠、藍(lán)三種顏色，各層膜的厚度范圍為納米(nm)級(jí)別，所以它的總厚度在所有顯示器件之中是最薄的。OLED顯示器利用從不同的片斷發(fā)出的紅光、綠光、藍(lán)光來顯示圖像，因而在OLED顯示器上三個(gè)發(fā)光層必須沉積在不同的地方，而其它有機(jī)層和無機(jī)層則沉積在整個(gè)區(qū)域；將多層薄膜相繼沉積在玻璃基板上時(shí)，為了實(shí)現(xiàn)不同區(qū)域圖案化的鍍膜效果，掩膜板被應(yīng)用在蒸鍍制成中。如圖1所示，為最常見的掩膜板設(shè)計(jì)，將掩膜板10`貼合在基板上，蒸鍍時(shí)蒸鍍材料通過所述掩膜板10`上的窗口101`沉積在基板上，使基板上形成與所述掩膜板10`的窗口101`相同的圖案，實(shí)現(xiàn)不同區(qū)域圖案化的鍍膜效果。

在OLED的蒸鍍過程中，制造OLED所用的基板和掩膜板需要固定粘合在一起并進(jìn)行傳送，蒸鍍制程結(jié)束后，需要將基板和掩膜板分離；因此，在蒸鍍過程中，利用一個(gè)裝載架將基板和掩膜板固定在一起，裝載架具有夾持基板及掩膜板的夾子，利用裝載架的夾子對(duì)基板及掩膜板進(jìn)行夾持并將兩者固定在裝載架上，為了保證蒸鍍效果，掩膜板與基板必須準(zhǔn)確對(duì)位，并且掩膜板與基板在整個(gè)蒸鍍過程中始終緊密接觸，為達(dá)到此目的，裝載架上還設(shè)置有磁力板，掩膜板被設(shè)計(jì)為具有磁性，利用兩者之間的磁力使掩膜板與基板準(zhǔn)確對(duì)位并緊密接觸。在蒸鍍制程結(jié)束后，基板和掩膜需要分離，就需打開夾子并克服磁力板與掩膜板之間的磁力，才能使基板與掩膜板分離，因此，常用技術(shù)為借助一個(gè)頂桿裝置打夾子并克服磁力板與掩膜板之間的磁力進(jìn)而使基板和掩膜板分開。現(xiàn)有的頂桿裝置在使用時(shí)，氣缸或電機(jī)等動(dòng)力源會(huì)被引入真空蒸鍍?cè)O(shè)備內(nèi)，這樣不可避免的給真空環(huán)境帶來來自設(shè)備本身的污染，影響蒸鍍效果；另外，現(xiàn)有的頂桿裝置少有緩沖減振功能，直接硬性機(jī)械接觸容易導(dǎo)致被支撐和/或被分離物件破損，降低產(chǎn)品的良品率；同時(shí)這類頂桿裝置的維護(hù)和檢修相當(dāng)不便。

因此，急需一種具有緩沖減震功能、保證蒸鍍?cè)O(shè)備高清潔度，且維護(hù)方便的頂桿裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有緩沖減震功能、保證蒸鍍?cè)O(shè)備高清潔度，且維護(hù)方便的頂桿裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：提供一種頂桿裝置，其包括垂直升降裝置、支撐板及至少三組頂桿組件，所述垂直升降裝置與所述支撐板連接，所述頂桿組件的一端呈對(duì)稱的連接于所述支撐板上，所述頂桿組件的另一端密封伸入所述真空腔體內(nèi)，其中，所述頂桿組件包括頂桿、彈性元件、固定軸及軸套，所述軸套具有呈中空結(jié)構(gòu)的行程腔，所述行程腔貫穿所述軸套，所述軸套的上端伸入所述真空腔體內(nèi)且與所述真空腔體密封地樞接，所述固定軸的上端伸入位于所述軸套的下端的行程腔內(nèi)并螺紋連接，所述固定軸的下端與所述支撐板固定連接，所述頂桿套于所述軸套的行程腔內(nèi)且伸出所述軸套的上端并與所述行程腔卡接，所述彈性元件呈壓縮狀的抵觸于所述固定軸與所述頂桿之間并收容于所述行程腔內(nèi)。

較佳地，所述頂桿的中部向外凸出形成凸起，所述凸起與所述頂桿的上端形成第一臺(tái)階，所述凸起與所述頂桿的下端形成第二臺(tái)階，所述第一臺(tái)階與所述行程腔卡接，所述第二臺(tái)階與所述彈性元件相抵觸；彈性元件穩(wěn)定的抵觸于頂桿的第二臺(tái)階上，不易滑動(dòng)，當(dāng)頂桿抵觸物件時(shí)，彈性元件被進(jìn)一步壓縮，彈性元件產(chǎn)生的彈力對(duì)施加在被抵觸物件上的力起到緩沖作用，防止頂桿抵觸物件時(shí)產(chǎn)生較大的振動(dòng)，進(jìn)而避免頂桿與被抵觸物件之間的硬性接觸使被抵觸物件受到損壞；且頂桿及行程腔的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，頂桿、行程腔及彈性元件組裝時(shí)方便快捷，需要維護(hù)時(shí)便于拆裝，易于維護(hù)。

較佳地，所述軸套的下端的行程腔的腔壁上開設(shè)有內(nèi)螺紋，所述固定軸的上端開設(shè)有與所述內(nèi)螺紋相嚙合的外螺紋；固定軸與軸套之間通過螺紋嚙合，通過旋轉(zhuǎn)所述軸套即可使彈性元件沿所述行程腔伸縮，進(jìn)而調(diào)節(jié)彈性元件的預(yù)壓力和所述頂桿的安裝高度。