[實用新型]90°外角棱鏡激光干涉測量儀有效
| 申請號： | 200920235820.3 | 申請日： | 2009-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN201527335U | 公開（公告）日： | 2010-07-14 |
| 發明（設計）人： | 周衛華;陳華;陳文宇 | 申請（專利權）人： | 丹陽弘業電子有限公司 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 汪旭東 |
| 地址： | 212325 江蘇省丹*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 90 外角 棱鏡 激光 干涉 測量儀 | ||
【權利要求書】：
1.90°外角棱鏡激光干涉測量儀，包括2塊高精度反射鏡(1)和1塊高精度平板玻璃(3)，反射鏡(1)和平板玻璃(3)之間互相垂直，90°待測棱鏡(2)置于平板玻璃上面，其特征在于：所述的反射鏡(1)一面為拋光面，另一面為磨砂面，拋光面與平板玻璃(3)的兩端面膠合接觸。
2.根據權利要求1所述的90°外角棱鏡激光干涉測量儀，其特征在于：所述的反射鏡(1)拋光面的光圈要求：0.2f，表面要求：60-40，鍍膜區域需鍍銀反光膜：R＞＝95％。
3.根據權利要求1所述的90°外角棱鏡激光干涉測量儀，其特征在于：所述的平板玻璃(3)和反射鏡(1)膠合面需拋光，拋光面光圈要求；0.5f，平行差＜＝0.5。
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