[實用新型]90°外角棱鏡激光干涉測量儀

有效

• 申請號: 200920235820.3
• 申請日: 2009-09-25
• 公開（公告）號: CN201527335U
• 公開（公告）日: 2010-07-14
• 發明（設計）人: 周衛華;陳華;陳文宇
• 申請（專利權）人: 丹陽弘業電子有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 汪旭東

技術領域

本實用新型以激光干涉儀為基礎，再配以高精度的工裝，檢測各類高精度90°外角棱鏡的激光干涉測量儀。

背景技術

目前，高精度棱鏡90°角的檢測，在激光干涉儀上一般采用內測法，這種檢測方法受到光學材料折射率的影響，對測角精度影響很大。

發明內容

針對以上不足，本實用新型的目的在于提供一種90°外角棱鏡激光干涉測量儀，是基于激光干涉儀的光學測角方法，在原來的激光干涉測量儀中加入一組高精度的工裝設備，減少各種影響測量結果的因素，得到高精確的測量結果。

本實用新型的技術方案是通過以下方式實現的：90°外角棱鏡激光干涉測量儀，包括2塊高精度反射鏡和1塊高精度平板玻璃，反射鏡和平板玻璃之間互相垂直，90°待測棱鏡置于平板玻璃上面，其特征在于：所述的反射鏡一面為拋光面，另一面為磨砂面，拋光面與平板玻璃的兩端面膠合接觸。

所述的反射鏡拋光面的光圈要求：0.2f，表面要求：60-40，鍍膜區域需鍍銀反光膜：R＞＝95％。

所述的平板玻璃和反射鏡膠合面需拋光，拋光面光圈要求；0.5f，平行差＜＝0.5。

本實用新型，光的折射不受到光學材料折射率的影響，測量結果準確，操作靈活，簡單易行。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

由圖1知，本實施例的90°外角棱鏡激光干涉測量儀，由2塊高精度反射鏡1和一塊高精度平板玻璃3，反射鏡1和平板玻璃3之間互相垂直，90°待測棱鏡2置于平板玻璃3上面，將反射鏡1，平板玻璃3的工作面處理清潔，然后利用光學玻璃之間相互吸引的原理將兩個反射鏡1光膠上平板玻璃3，并保證了它們的拋光面之間的平行差＜＝0.5，將被測棱鏡2置于平板玻璃3上。

激光干涉儀發出二路激光光源，分別在90°棱鏡2的1個直角面產生反射，因為棱鏡的工作面鍍有反射膜，故光線在棱鏡上發生反射，又回頭入射到棱鏡直角面時，再次產生反射，并入射進激光干涉儀，被接收。二路被激光干涉儀接收的光線，在系統中產生2路干涉條紋，系統軟件自動進行對比，并轉化成角度誤差數據，顯示在電腦上，從而得出所需要的結果。