[實(shí)用新型]裝片機(jī)真空電磁閥保護(hù)器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920234813.1
• 申請日: 2009-08-07
• 公開（公告）號: CN201498507U
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 季達(dá)
• 申請（專利權(quán)）人: 南通華達(dá)微電子集團(tuán)有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/60;F16K27/08
• 代理公司: 南通市永通專利事務(wù)所 32100
• 代理人: 葛雷

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體裝片機(jī)的真空電磁閥保護(hù)器。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體封裝用裝片機(jī)焊頭真空電磁閥是很容易損害的部件，主要原因是裝片機(jī)焊頭處的硅片碎屑通過焊真空管道進(jìn)入了閥芯，硅片碎屑是高硬度物質(zhì)，閥芯運(yùn)動過程中和硅片碎屑產(chǎn)生磨損導(dǎo)致閥芯磨損或閥芯“卡死”。

發(fā)明內(nèi)容：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)合理，能有效將硅片碎屑阻擋在真空電磁閥外面，使真空電磁閥得到保護(hù)的裝片機(jī)真空電磁閥保護(hù)器。

本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是：

一種裝片機(jī)真空電磁閥保護(hù)器，其特征是：包括殼體，殼體兩端分別設(shè)置上、下端蓋，上端蓋上設(shè)有出氣口，下端蓋上設(shè)有進(jìn)氣口，在進(jìn)氣口、出氣口之間的氣體通道上設(shè)置微孔金屬濾芯。

上下端蓋與殼體之間設(shè)置密封圈。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，使用時串接在真空電磁閥進(jìn)氣回路上，能有效將硅片碎屑阻擋在真空電磁閥外面，使真空電磁閥得到保護(hù)。本實(shí)用新型空氣阻力小，適合半導(dǎo)體封裝用裝片機(jī)使用，濾芯清洗后能反復(fù)使用，大大降低使用成本。

采用15UM微孔金屬濾芯技術(shù)，使濾芯清洗后能反復(fù)使用。本實(shí)用新型簡潔的結(jié)構(gòu)，降低了保護(hù)器制造成本，同時降低了保護(hù)器氣體阻力，不影響裝片機(jī)焊頭真空吸片性能。

附圖說明：

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型一個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示圖。

圖2是圖1的使用原理圖。

具體實(shí)施方式：

一種裝片機(jī)真空電磁閥保護(hù)器，包括殼體3，殼體采用透明PC管，殼體兩端分別設(shè)置上、下端蓋1、5，上端蓋上設(shè)有出氣口6，下端蓋上設(shè)有進(jìn)氣口7，在進(jìn)氣口、出氣口之間的氣體通道上設(shè)置微孔金屬濾芯4。上下端蓋與殼體之間設(shè)置密封圈2。

圖2中有本實(shí)用新型裝片機(jī)真空電磁閥保護(hù)器8、真空電磁閥9。