[實用新型]壓板治具無效
| 申請號: | 200920233618.7 | 申請日: | 2009-07-20 |
| 公開(公告)號: | CN201576666U | 公開(公告)日: | 2010-09-08 |
| 發明(設計)人: | 朱其會 | 申請(專利權)人: | 昆山丘鈦微電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/48;H01L21/50 |
| 代理公司: | 昆山四方專利事務所 32212 | 代理人: | 盛建德 |
| 地址: | 215300 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓板 | ||
1.一種壓板治具,其特征在于:包括治具框架(1)和若干獨立橫梁(2),所述治具框架由一對連接邊框(11)、一對壓板邊框(12)和一個連接板(13)組成,所述一連接邊框(11)兩端分別對應固連兩壓板邊框(12)一端,另一連接邊框(11)兩端分別對應固連兩壓板邊框(12)另一端,以使用方向為基準:所述連接板(13)固連于所述一連接邊框(11)的外側,該連接板(13)可拆卸固定在機器設備上,各獨立橫梁(2)分別間隔可拆卸滑動定位于所述兩連接邊框(11)之間,所述獨立橫梁(2)的底部和所述壓板邊框(12)的底部齊平。
2.根據權利要求1所述的壓板治具,其特征在于:所述各獨立橫梁(2)分別間隔可拆卸滑動定位于所述兩連接邊框(11)之間的結構是:所述的連接邊框(11)上開設有連接槽(110),所述獨立橫梁(2)呈型,該獨立橫梁(2)的兩端上部可拆卸活動定位卡制于所述連接槽(110)中。
3.根據權利要求2所述的壓板治具,其特征在于:所述獨立橫梁(2)的兩端上部可拆卸活動定位卡制于所述連接槽(110)中的結構是:以使用方向為基準:所述連接槽(110)的橫截面呈上部窄下部寬的“凸”型結構,所述獨立橫梁(2)的兩端上部中間凸出形成有連接塊(20),該獨立橫梁(2)的兩端上部超出連接塊范圍的上端面形成肩部(21),所述連接塊(20)恰可容置于所述連接槽(110)的下部(112),所述肩部(21)恰可止檔于所述連接邊框(11)的底端,所述連接塊(20)自上端面開設有螺紋孔(220),設有與獨立橫梁(2)數量一致的螺釘(3),所述螺釘(3)的螺帽恰可止檔于所述連接邊框(11)的上端面,所述螺釘(3)的螺桿恰可穿過所述連接槽(110)的上部(111)并與所述連接塊(20)上的螺紋孔(220)螺接。
4.根據權利要求1所述的壓板治具,其特征在于:所述連接板(13)可拆卸固定在機器設備上的結構是:所述連接板(13)對應機器設備的治具連接處開設有若干治具連接螺紋孔(130),所述連接板(13)通過該治具連接螺紋孔(130)與機器設備上的螺釘螺接固定。
5.根據權利要求1或4所述的壓板治具,其特征在于:所述機器設備為固晶機。
6.根據權利要求1所述的壓板治具,其特征在于:所述治具框架(1)上設有三個獨立橫梁(2)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





