[實用新型]薄膜沉積裝置

有效

• 申請號: 200920220756.1
• 申請日: 2009-11-03
• 公開（公告）號: CN201549466U
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 張迎春;楊與勝;單洪青
• 申請（專利權）人: 福建鈞石能源有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;C23C16/24;C23C16/50;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及光伏太陽能電池技術領域，特別涉及一種薄膜沉積裝置。

背景技術

隨著能源的日益短缺，人們對太陽能的開發和利用日趨重視。市場對更大面積、更輕更薄且生產成本更低的新型太陽能電池的需求日益增加。在這些新型太陽能電池中，基于硅材料的薄膜太陽能電池、特別是大面積薄膜太陽能電池的開發已受到世界范圍的廣泛關注。薄膜太陽能電池用硅量極少，更容易降低成本，在硅原材料持續緊張的情況下，薄膜太陽電池已成為太陽能電池發展的新趨勢和新熱點。

薄膜太陽能電池是多層器件，典型的薄膜太陽能電池通常包括p-i-n疊層結構。p-i-n疊層結構的各層是利用等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)工藝，在大型PECVD沉積設備中沉積形成，例如在申請號為200820008274.5的中國專利申請中所描述的，可在大面積基板表面、批量沉積薄膜的大型PECVD沉積設備。圖1為該設備簡化結構示意圖，如圖1所示，在反應室100中間隔交替放置大面積激勵電極板104和接地電極板106，電極板兩側表面均可放置大面積玻璃基板121。反應氣體由進氣口114進入反應室100，反應氣體沿箭頭方向流動，射頻激勵電源117向激勵電極板104提供射頻能量，將反應氣體電離為等離子體，在基板121表面沉積薄膜，剩余的氣體由出氣口118排出。

上述薄膜沉積裝置中，射頻激勵電源117向激勵電極板104提供射頻能量。射頻能量的頻率通常為13.56MHz甚至更高，當這種射頻頻率的波長與激勵電極板104的尺寸接近時，則會在激勵電極板104的邊緣產生駐波反射，如圖2所示，相鄰兩個電極板之間，也就是激勵電極板104和接地電極板106之間會產生嚴重的射頻串擾，使電極板之間的反應空間內電場能量分布不均勻，反應氣體的等離子體密度不均勻，導致玻璃基板表面薄膜沉積的非均勻性，影響薄膜太陽能電池的性能。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種薄膜沉積裝置，能夠消除電極板之間的射頻串擾，顯著提高薄膜沉積的均勻性。

一方面，本實用新型提供了一種薄膜沉積裝置，包括反應室、以及在反應室內間隔交替放置的激勵電極板和接地電極板，所述激勵電極板和接地電極板之間的底部具有隔離部件。

優選地，所述隔離部件為金屬條或非金屬條。

優選地，所述金屬條為鋁條。

優選地，所述隔離部件為玻璃條。

優選地，所述金屬條接地。

另一方面，本實用新型提供了一種薄膜沉積裝置，包括反應室、以及在反應室內間隔交替放置的激勵電極板和接地電極板，所述激勵電極板和接地電極板之間的底部和上部具有隔離部件。

優選地，所述隔離部件為金屬條或非金屬條。

優選地，所述金屬條為鋁條。

優選地，所述非金屬條為玻璃條。

優選地，所述金屬條接地。

與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：

本實用新型的薄膜沉積裝置在相鄰兩個電極板之間的底部、或相鄰兩個電極板之間的底部和頂部設置隔離部件，并使該隔離部件的高度接近基板底部區域，該隔離部件可以對電極板兩端部區域產生的駐波起到隔離和抵消的作用，能夠有效減少或消除駐波現象對電場均勻度的影響，降低了電極板之間的射頻串擾，使等離子體密度的均勻性得以提高；同時由于隔離部件的隔離作用，降低了粉塵的產生，避免了沉積缺陷，不但能夠有效地改善薄膜沉積的均勻性，提高薄膜太陽能電池的光電轉換性能，而且減少了污染源，從而減少了對反應室的清洗次數，提高了生產效率。

附圖說明

通過附圖中所示的本實用新型的優選實施例的更具體說明，本實用新型的上述及其它目的、特征和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按比例繪制附圖，重點在于示出本實用新型的主旨。在附圖中，為清楚起見，放大了層的厚度。

圖1為大型PECVD沉積設備簡化結構示意圖；

圖2為激勵電極板表面電場分布示意圖；

圖3為本實用新型第一實施例的結構示意圖；

圖4為本實用新型第二實施例的結構示意圖。

所述示圖是說明性的，而非限制性的，在此不能過度限制本實用新型的保護范圍。

具體實施方式