[實用新型]薄膜沉積裝置有效
| 申請號： | 200920220756.1 | 申請日： | 2009-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN201549466U | 公開（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發明（設計）人： | 張迎春;楊與勝;單洪青 | 申請（專利權）人： | 福建鈞石能源有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;C23C16/24;C23C16/50;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 沉積 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜沉積裝置，包括反應室、以及在反應室內間隔交替放置的激勵電極板和接地電極板，其特征在于：
所述激勵電極板和接地電極板之間的底部具有隔離部件。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述隔離部件為金屬條或非金屬條。
3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述金屬條為鋁條。
4.如權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述隔離部件為玻璃條。
5.如權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述金屬條接地。
6.一種薄膜沉積裝置，包括反應室、以及在反應室內間隔交替放置的激勵電極板和接地電極板，其特征在于：
所述激勵電極板和接地電極板之間的底部和上部具有隔離部件。
7.如權利要求6所述的裝置，其特征在于：所述隔離部件為金屬條或非金屬條。
8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述金屬條為鋁條。
9.如權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述非金屬條為玻璃條。
10.如權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述金屬條接地。
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