[實用新型]多功能金屬刻蝕機

無效

• 申請號: 200920214822.4
• 申請日: 2009-12-18
• 公開（公告）號: CN201620192U
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發明（設計）人: 張擎雪;荊泉;馬金輝
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 張驥

1.一種多功能金屬刻蝕機，其特征在于：包括刻蝕腔、去膠腔、清洗腔、緩沖減壓腔、對準腔、傳送腔；刻蝕腔、去膠腔、清洗腔、對準腔、傳送腔設置于緩沖減壓腔的周圍并與緩沖減壓腔連通形成封閉的腔體；緩沖減壓腔與刻蝕腔、去膠腔、傳送腔、對準腔、清洗腔之間分別設有密封閥門；傳送腔的一側設有硅片盒；傳送腔與硅片盒之間設置第一機械手，傳送腔、清洗腔分別設有通向硅片盒的外門；緩沖減壓腔內設置有第二機械手；清洗腔內設有硅片臺。

2.根據權利要求1所述的多功能金屬刻蝕機，其特征在于：所述硅片臺為恒溫裝置。

3.根據權利要求1所述的多功能金屬刻蝕機，其特征在于：所述刻蝕腔、去膠腔、清洗腔分別為一個或多個。

4.根據權利要求1所述的多功能金屬刻蝕機，其特征在于：所述緩沖減壓腔的壓力變化范圍為200mt到200t。