[實用新型]晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺有效
| 申請號： | 200920211040.5 | 申請日： | 2009-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN201552497U | 公開（公告）日： | 2010-08-18 |
| 發明（設計）人： | 盧建偉 | 申請（專利權）人： | 昭進半導體設備(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201718 上海市青*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓背磨機 懸浮 轉動 工作臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，包括機座、中心轉軸、以及藉由所述中心轉軸可轉動地設置于所述機座上的可轉動臺面，其特征在于：所述機座與所述可轉動臺面之間均勻布設有多個氣動元件，所述氣動元件經加壓后以產生推力將所述可轉動臺面升起。
2.如權利要求1所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述機座的頂面具有多個沉孔。
3.如權利要求2所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述氣動元件設置于所述沉孔內。
4.如權利要求2所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述沉孔底部具有螺孔以及配合所述螺孔具有用以調節所述氣動元件高度的調節件。
5.如權利要求4所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述調節件為螺柱，且所述螺柱的底部為球面。
6.如權利要求1所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述氣動元件頂面均勻密布有多個出氣微孔以及側面具有進氣接頭。
7.如權利要求6所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述進氣接頭連通有一加壓裝置。
8.如權利要求6所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述氣動元件為緩沖氣墊。
9.如權利要求8所述的晶圓背磨機的懸浮式可轉動工作臺，其特征在于：所述緩沖氣墊的個數為六個。
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