[實(shí)用新型]晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920211039.2 | 申請(qǐng)日： | 2009-10-21 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201552496U | 公開（公告）日： | 2010-08-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 盧建偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 昭進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/04 | 分類號(hào)： | B24B37/04;H01L21/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 201718 上海市青*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶圓背磨機(jī) 旋轉(zhuǎn) 磨削 吸盤 調(diào)節(jié) 機(jī)構(gòu) | ||
1.一種晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面、設(shè)置于所述可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面上的法蘭，且所述法蘭周緣具有至少三個(gè)均勻分布的第一螺孔，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面具有對(duì)應(yīng)所述第一螺孔的第二螺孔，其特征在于，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包括：
微調(diào)空心螺絲，旋設(shè)于所述第一螺孔，并具有對(duì)應(yīng)所述第一螺孔的外螺紋，所述微調(diào)空心螺絲頂端具有卡槽；
空心螺帽，底端具有對(duì)應(yīng)卡合至所述卡槽的卡塊，中部具有擋止部以及頂端具有操作部；
球面墊座，位于所述微調(diào)空心螺絲與所述可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面之間，且所述球面墊座底面為平面；
球面墊圈，位于所述微調(diào)空心螺絲與所述球面墊座之間，所述球面墊圈容置于所述球面墊座中；以及
緊固螺栓，依次穿過所述空心螺帽、微調(diào)空心螺絲、球面墊圈及球面墊座鎖固于所述第二螺孔。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述空心螺帽的擋止部的直徑大于所述第一螺孔的孔徑。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述空心螺帽的操作部呈六角螺帽結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述微調(diào)空心螺絲的底端抵靠于所述球面墊圈上。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：連通所述第一螺孔的底端具有容置沉孔，用于容置所述球面墊圈及球面墊座。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述球面墊座具有凹形球面。
7.如權(quán)利要求6所述的晶圓背磨機(jī)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述球面墊圈與所述球面墊座的凹形球面相吻合。
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