[實用新型]晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920211038.8
• 申請日: 2009-10-21
• 公開（公告）號: CN201559119U
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧建偉
• 申請（專利權(quán)）人: 昭進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種技術(shù)調(diào)節(jié)技術(shù)，特別是涉及一種應(yīng)用于晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，集成電路(integratedcircuit，IC)的運用已經(jīng)無處不在，因而作為集成電路的原材料，晶圓制造加工業(yè)的發(fā)展也日趨發(fā)展。集成電路作為極為精密的器件，在各個生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對精準(zhǔn)度的要求都不容忽視。晶圓制造過程中的每一個步驟，包括蝕刻、氧化、沉積、去光阻、以及化學(xué)機械磨削等，其中在機械磨削過程中對晶圓的磨削精度有著極為嚴(yán)格的要求和限制。

為了薄化半導(dǎo)體封裝件通常會對晶圓的背面實施磨削，而完成該項制程的就是業(yè)內(nèi)俗稱的晶圓背磨機。所述的晶圓背磨機通常包括可旋轉(zhuǎn)的工作臺面、多個設(shè)置在該工作臺面上并可轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤、以及懸設(shè)于該工作臺面上方的磨頭等部件。對晶圓進(jìn)行磨削時，是先將晶圓放置在其中的一個旋轉(zhuǎn)磨削吸盤上，再將轉(zhuǎn)動的磨頭放下對準(zhǔn)該晶圓載具上的晶圓進(jìn)行磨削作業(yè)。在現(xiàn)有技術(shù)中，為確保對晶圓的磨削精度，必須保證該磨頭相對該旋轉(zhuǎn)磨削吸盤的高度水平精度，因此就需要在磨削作業(yè)前對該磨頭進(jìn)行水平檢測并橫向調(diào)整或縱向調(diào)整。

在現(xiàn)有技術(shù)中，無論是對背磨機的磨頭進(jìn)行橫向調(diào)整還是縱向調(diào)整均是采用螺絲在螺孔中的旋進(jìn)旋出的方式，由于背磨機的磨頭大多裝設(shè)有質(zhì)量比較重的驅(qū)動裝置(例如馬達(dá))，所以要調(diào)整其移位的時候需要很大的力量，因而所采用的調(diào)整螺絲也是牙徑長螺距寬的高強度調(diào)節(jié)螺絲，然，由于所述磨頭大多是微觀上的傾斜，用以上所述調(diào)節(jié)螺絲稍微旋進(jìn)或旋出一點就會形成很大的誤差，進(jìn)而導(dǎo)致調(diào)節(jié)不精確，為解決這一問題，業(yè)內(nèi)人員往往會在磨頭的對稱兩側(cè)均設(shè)置調(diào)節(jié)螺絲，于調(diào)節(jié)磨頭時采用一邊旋出一邊旋進(jìn)的方式而達(dá)到精確調(diào)節(jié)的目的，但是，調(diào)節(jié)螺絲位于磨頭兩側(cè)操作極為不便，往往一個操作人員難以單獨完成，不僅費時而且費力，進(jìn)而降低了工作效率。

所以，如何提供一種晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)，以避免以上所述的缺點，實為相關(guān)領(lǐng)域之業(yè)者目前亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)，不但便于調(diào)節(jié)操作，而且還可以達(dá)成二維空間的精確調(diào)節(jié)。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)，其至少包括有第一拖板、第二拖板、磨頭座、垂向斜塊、縱向圓軸、第一螺孔板、第二螺孔板、縱向調(diào)整件。其中，所述第二拖板活動結(jié)合于所述第一拖板；所述磨頭座活動結(jié)合于所述第二拖板；所述垂向斜塊設(shè)置于所述第二拖板，所述垂向斜塊具有一垂向螺孔以及相對垂向呈傾斜夾角的傾斜面；所述縱向圓軸設(shè)置于所述磨頭座，所述縱向圓軸的弧面接觸所述垂向斜塊的傾斜面；所述第一螺孔板固定于所述第二拖板，所述第一螺孔板具有第一螺孔，所述第一螺孔具有第一內(nèi)螺紋；所述第二螺孔板固定于所述第一拖板，所述第二螺孔板具有第二螺孔，所述第二螺孔具有第二內(nèi)螺紋；所述縱向調(diào)整件具有相對所述第一內(nèi)螺紋的第一外螺紋及相對所述第二內(nèi)螺紋的第二外螺紋，所述縱向調(diào)整件依次穿過所述第二螺孔板及第一螺孔板并旋設(shè)于所述第二螺孔及第一螺孔，并于所述第二螺孔及第一螺孔內(nèi)旋進(jìn)或旋出時帶動所述第二拖板縱向移動。

在本實用新型的晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)，還包括一微調(diào)螺桿，所述微調(diào)螺桿旋設(shè)于所述垂向斜塊的垂向螺孔，并于旋進(jìn)或旋出時帶動所述垂向斜塊垂向移動；所述第二拖板與磨頭座之間具有中心軸，由于所述垂向斜塊的傾斜面抵觸所述縱向圓軸的弧面，故在所述垂向斜塊的傾斜面垂向運動時必迫使所述縱向圓軸于橫向移動，并以所述第二拖板與磨頭座之間的中心軸為支點，進(jìn)而撬動所述磨頭座橫向調(diào)節(jié)。

在本實用新型的晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)，還包括一橫向緊固件；所述垂向斜塊還具有一狹長槽，所述縱向圓軸具有一對應(yīng)所述狹長槽的通孔，所述橫向緊固件依次穿過所述通孔及狹長槽，于所述磨頭座橫向調(diào)節(jié)好之后，將所述縱向圓軸及垂向斜塊的相對位置固定。于具體的實施方式中，所述橫向緊固件為螺栓。

在本實用新型的晶圓背磨機的磨頭調(diào)節(jié)機構(gòu)中，所述第一內(nèi)螺紋的螺距大于所述第二內(nèi)螺紋的螺距，所述第一外螺紋的螺距大于所述第二外螺紋的螺距，所述第一內(nèi)螺紋的螺距等于所述第一外螺紋的螺距，所述第二內(nèi)螺紋的螺距等于所述第二外螺紋的螺距。于具體的實施方式中，所述縱向調(diào)整件為差動螺絲。