[實(shí)用新型]晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920211038.8
• 申請(qǐng)日: 2009-10-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201559119U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧建偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昭進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/04
• 分類號(hào): B24B37/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其至少包括有第一拖板、活動(dòng)結(jié)合于所述第一拖板的第二拖板、以及活動(dòng)結(jié)合于所述第二拖板的磨頭座，其特征在于：

垂向斜塊，設(shè)置于所述第二拖板，所述垂向斜塊具有一垂向螺孔以及相對(duì)垂向呈傾斜夾角的傾斜面；

縱向圓軸，設(shè)置于所述磨頭座，所述縱向圓軸的弧面接觸所述垂向斜塊的傾斜面；

第一螺孔板，固定于所述第二拖板，所述第一螺孔板具有第一螺孔，所述第一螺孔具有第一內(nèi)螺紋；

第二螺孔板，固定于所述第一拖板，所述第二螺孔板具有第二螺孔，所述第二螺孔具有第二內(nèi)螺紋；以及

縱向調(diào)整件，具有相對(duì)所述第一內(nèi)螺紋的第一外螺紋及相對(duì)所述第二內(nèi)螺紋的第二外螺紋，所述縱向調(diào)整件依次穿過(guò)所述第二螺孔板及第一螺孔板并旋設(shè)于所述第二螺孔及第一螺孔，并于所述第二螺孔及第一螺孔內(nèi)旋進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng)所述第二拖板縱向移動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括一微調(diào)螺桿，旋設(shè)于所述垂向斜塊的垂向螺孔，并于旋進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng)所述垂向斜塊垂向移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述垂向斜塊還具有一狹長(zhǎng)槽。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述縱向圓軸具有一對(duì)應(yīng)所述狹長(zhǎng)槽的通孔。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括一橫向緊固件，所述橫向緊固件依次穿過(guò)所述通孔及狹長(zhǎng)槽將所述縱向圓軸及垂向斜塊的相對(duì)位置固定。

6.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第二拖板與磨頭座之間具有中心軸。

7.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一內(nèi)螺紋的螺距大于所述第二內(nèi)螺紋的螺距。

8.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一外螺紋的螺距大于所述第二外螺紋的螺距。

9.如權(quán)利要求7或8所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一內(nèi)螺紋的螺距等于所述第一外螺紋的螺距；所述第二內(nèi)螺紋的螺距等于所述第二外螺紋的螺距。

10.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述縱向調(diào)整件為差動(dòng)螺絲。