[實(shí)用新型]一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920210235.8
• 申請(qǐng)日: 2009-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN201648568U
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃小衛(wèi)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海元亮光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00;F27D21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體生長設(shè)備和高溫設(shè)備，屬于晶體生長設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

本發(fā)明目的是為了降低晶體爐膛觀察窗擋板轉(zhuǎn)軸和擋板的溫度，可以極大的提高轉(zhuǎn)軸真空密封的可靠性，提高使用壽命。同時(shí)，有效的把揮發(fā)物沉淀在擋板上，延長觀察窗的使用壽命。

傳統(tǒng)的觀察窗的擋板的轉(zhuǎn)軸為實(shí)心金屬棒(參見圖1)，這樣揮發(fā)物容易沉淀在擋板上，使得觀察不夠清晰，縮短了觀察窗的使用壽命。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種降低晶體爐膛觀察窗擋板轉(zhuǎn)軸和擋板的溫度，極大的提高轉(zhuǎn)軸真空密封的可靠性，提高使用壽命的新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)，

一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸和真空動(dòng)密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真空動(dòng)密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的上方設(shè)置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其特征在于：所述的擋板轉(zhuǎn)軸由水冷裝置構(gòu)成，水冷裝置包括進(jìn)水管和出水管，在所述進(jìn)水管和出水管外密封水冷擋板。

所述的進(jìn)水管、出水管和密封水冷擋板之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度。

所述水冷擋板的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。

在所述的真空動(dòng)密封結(jié)構(gòu)中包括磁流體密封形式。

本實(shí)用新型的另一種技術(shù)方案是，一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸和真空動(dòng)密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真空動(dòng)密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的上方設(shè)置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其特征在于：所述的擋板轉(zhuǎn)軸和觀察窗擋板均由水冷裝置構(gòu)成，水冷裝置包括進(jìn)水管和出水管，在所述進(jìn)水管和出水管外密封水冷擋板。

所述的進(jìn)水管、出水管和密封水冷擋板之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度。

所述水冷擋板的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。

在所述的真空動(dòng)密封結(jié)構(gòu)中包括磁流體密封形式。

本實(shí)用新型的有益效果是將轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)中的實(shí)心金屬棒更換成水冷結(jié)構(gòu)，在實(shí)際使用中能有效的把熱量通過冷卻水帶走，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度，從而保護(hù)了轉(zhuǎn)軸外面的真空密封圈或磁流體結(jié)構(gòu)，有利于提高了真空度和延長真空動(dòng)密封的使用溫度和使用壽命。同時(shí)擋板的溫度也更低，有效的把揮發(fā)物沉淀在擋板上，延長觀察窗的使用壽命。

附圖說明

圖1是傳統(tǒng)觀察窗擋板結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型第一種技術(shù)方案觀察窗擋板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型第二種技術(shù)方案觀察窗擋板結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

如圖2所示，一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸1和真空動(dòng)密封2，擋板轉(zhuǎn)軸1穿過真空動(dòng)密封2的內(nèi)腔后和觀察窗擋板3相接，在觀察窗擋板3的上方安裝觀察窗4，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其中擋板轉(zhuǎn)軸1由水冷裝置5構(gòu)成，水冷裝置5包括進(jìn)水管51和出水管52，進(jìn)水管51和出水管52外密封水冷擋板53，在進(jìn)水管51、出水管52和密封水冷擋板53之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度，并在水冷擋板53的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。

如圖3所示，一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸1和真空動(dòng)密封2，擋板轉(zhuǎn)軸1穿過真空動(dòng)密封2的內(nèi)腔后和觀察窗擋板3相接，在觀察窗擋板3的上方安裝觀察窗4，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其中擋板轉(zhuǎn)軸1和觀察窗擋板3由水冷裝置5構(gòu)成，水冷裝置5包括進(jìn)水管51和出水管52，在進(jìn)水管51和出水管52外密封水冷擋板53，這樣進(jìn)水管51、出水管52和密封水冷擋板53之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度。其中水冷擋板53的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。