[實用新型]一種新型晶體爐觀察窗擋板結構有效
| 申請號: | 200920210235.8 | 申請日: | 2009-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN201648568U | 公開(公告)日: | 2010-11-24 |
| 發明(設計)人: | 黃小衛 | 申請(專利權)人: | 上海元亮光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;F27D21/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201800 上海市嘉*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 新型 晶體 觀察窗 擋板 結構 | ||
1.一種新型晶體爐觀察窗擋板結構,包括擋板轉軸和真空動密封,擋板轉軸穿過真空動密封的內腔后和觀察窗擋板相接,在觀察窗擋板的上方設置觀察窗,用于觀察爐膛內晶體的生長,其特征在于:所述的擋板轉軸由水冷裝置構成,水冷裝置包括進水管和出水管,在所述進水管和出水管外密封水冷擋板。
2.根據權利要求1所述新型晶體爐觀察窗擋板結構,其特征在于:所述的進水管、出水管和密封水冷擋板之間構成中空水冷結構,減低了轉軸的表面溫度。
3.根據權利要求1所述新型晶體爐觀察窗擋板結構,其特征在于:所述水冷擋板的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。
4.根據權利要求1所述新型晶體爐觀察窗擋板結構,其特征在于:包括擋板轉軸和真空動密封,擋板轉軸穿過真空動密封的內腔后和觀察窗擋板相接,在觀察窗擋板的上方設置觀察窗,用于觀察爐膛內晶體的生長,所述的擋板轉軸和觀察窗擋板均由水冷裝置構成,水冷裝置包括進水管和出水管,在所述進水管和出水管外密封水冷擋板。
5.根據權利要求4所述新型晶體爐觀察窗擋板結構,其特征在于:所述的進水管、出水管和密封水冷擋板之間構成中空水冷結構,減低了轉軸的表面溫度。
6.根據權利要求4所述新型晶體爐觀察窗擋板結構,其特征在于:所述水冷擋板的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。?
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