[實用新型]真空設備樣品交接輔助機械手

有效

• 申請號: 200920208834.6
• 申請日: 2009-09-17
• 公開（公告）號: CN201537921U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 張清廉;李靜;譙朝暉;陳家光
• 申請（專利權）人: 寶山鋼鐵股份有限公司
• 主分類號: B25J9/08
• 分類號: B25J9/08
• 代理公司: 上海集信知識產權代理有限公司 31254
• 代理人: 周成

技術領域

本實用新型涉及機械手，更具體地說，涉及一種真空設備樣品交接輔助機械手。

背景技術

目前，采用磁力傳遞機構交接樣品的真空設備，為解決長距離傳遞或者磁力傳遞內桿自身以及樣品較重，而造成的撓度過大引起傳遞偏離水平的問題，一般均配備有機械手，起到輔助樣品傳遞交接的作用。請參閱圖1所示，通常此類機械手10一般包括法蘭11、固定于法蘭11一側的波紋管12、一端用于支撐樣品傳遞機構的磁力傳遞內桿1，另一端穿過法蘭11和波紋管12的撥桿13以及設于撥桿13穿出端并與波紋管12連成一體的手柄14。該機械手10在實際使用過程中，存在以下缺點：

首先，由于磁力傳遞內桿1為典型的懸臂梁，當其沿X軸向方向移動傳遞的距離較大時，磁力傳遞內桿1外伸過長會造成偏離水平的撓度過大，這樣，即使靠波紋管12支撐調節也會因為無法即時鎖定以及無相關的刻度顯示，以至于無法對磁力傳遞內桿1的前端夾持手產生的高低偏差(Z軸方向)進行精確調節和鎖定，最終不利于樣品的長距離快速準確交接，而且當傳遞較重的樣品時，由于樣品重量也容易使磁力傳遞內桿1產生偏離水平的撓度，從而也無法實現在Z軸方向上的精確定位；其次，由于無法調節磁力傳遞內桿1在水平面內的前后擺幅(Y軸方向)，容易造成夾持手即樣品中心不在各工位形成的直線上，從而增加了試樣交接的難度；再次，由于磁力傳遞內桿1與撥桿13之間為滑動摩擦，不但增加了交接阻力，而且還加速了磁力傳遞內桿1的磨損；另外，該機械手還存在操作不便，需要兩人密切配合才能操作，影響了作業效率等缺點。

實用新型內容

針對現有技術中存在的上述缺點，本實用新型的目的是提供一種真空設備樣品交接輔助機械手，該機械手能夠提高對真空設備的磁力傳遞機構進行精確調節和補償。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

該真空設備樣品交接輔助機械手，包括法蘭、固定于法蘭一側的波紋管、一端用于支撐磁力傳遞內桿，另一端穿過法蘭和波紋管的撥桿以及設于撥桿穿出端的手柄，該機械手還包括用于調節和鎖定撥桿的調節機構，該調節機構設于波紋管與手柄之間，并且與法蘭相固定。

所述的調節機構包括Z向調節部件，Z向調節部件包括縱向支架和調節螺栓，縱向支架上縱向開有導槽，所述的撥桿穿過導槽并與設于縱向支架一側的手柄相連；調節螺栓一端插入導槽內，并與撥桿相抵。

所述的調節機構還包括Y向調節部件，Y向調節部件包括導向光桿、橫向支架和絲桿，導向光桿一端固定在法蘭上，另一端橫向穿過縱向支架；橫向支架一端也固定在法蘭上；絲桿一端依次橫向穿過橫向支架以及縱向支架，另一端連接設有旋轉驅動部件。

所述的縱向支架和橫向支架上還分別設有縱向和橫向標尺。

所述的撥桿的支撐端還設有能夠與磁力傳遞內桿滾動接觸的軸承。

在上述技術方案中，本實用新型的真空設備樣品交接輔助機械手，包括法蘭、波紋管、撥桿以及手柄，該機械手還包括用于調節和鎖定撥桿的調節機構，該調節機構設于波紋管與手柄之間，并且與法蘭相固定。通過調節機構能夠對撥桿進行Z軸以及Y軸方向上的調節，并通過螺紋即時自鎖，不但能夠精確、有效的補償磁力傳遞內桿在Z軸和Y軸方向上的偏差，而且還能夠方便單人操作，提高作業效率。另外，通過增設軸承實現與磁力傳遞內桿的滾動摩擦，降低了撥桿阻力以及磁力傳遞內桿的磨損。

附圖說明

圖1是傳統機械手的結構示意圖；

圖2是本實用新型的真空設備樣品交接輔助機械手的結構示意圖；

圖3是圖2中縱向支架的B向示意圖；

圖4是圖2中的A部放大示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例進一步說明本實用新型的技術方案。