[實用新型]真空設(shè)備樣品交接輔助機械手有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920208834.6 | 申請日： | 2009-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN201537921U | 公開（公告）日： | 2010-08-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張清廉;李靜;譙朝暉;陳家光 | 申請（專利權(quán)）人： | 寶山鋼鐵股份有限公司 |
| 主分類號： | B25J9/08 | 分類號： | B25J9/08 |
| 代理公司： | 上海集信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201900 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空設(shè)備 樣品 交接 輔助 機械手 | ||
1.一種真空設(shè)備樣品交接輔助機械手，包括法蘭、固定于法蘭一側(cè)的波紋管、一端用于支撐磁力傳遞內(nèi)桿，另一端穿過法蘭和波紋管的撥桿以及設(shè)于撥桿穿出端的手柄，其特征在于：
該機械手還包括用于調(diào)節(jié)和鎖定撥桿的調(diào)節(jié)機構(gòu)，該調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)于波紋管與手柄之間，并且與法蘭相固定。
2.如權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備樣品交接輔助機械手，其特征在于：
所述的調(diào)節(jié)機構(gòu)包括Z向調(diào)節(jié)部件，Z向調(diào)節(jié)部件包括縱向支架和調(diào)節(jié)螺栓，縱向支架上縱向開有導(dǎo)槽，所述的撥桿穿過導(dǎo)槽并與設(shè)于縱向支架一側(cè)的手柄相連；調(diào)節(jié)螺栓一端插入導(dǎo)槽內(nèi)，并與撥桿相抵。
3.如權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備樣品交接輔助機械手，其特征在于：
所述的調(diào)節(jié)機構(gòu)還包括Y向調(diào)節(jié)部件，Y向調(diào)節(jié)部件包括導(dǎo)向光桿、橫向支架和絲桿，導(dǎo)向光桿一端固定在法蘭上，另一端橫向穿過縱向支架；橫向支架一端也固定在法蘭上；絲桿一端依次橫向穿過橫向支架以及縱向支架，另一端連接設(shè)有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部件。
4.如權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備樣品交接輔助機械手，其特征在于：
所述的縱向支架和橫向支架上還分別設(shè)有縱向和橫向標(biāo)尺。
5.如權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備樣品交接輔助機械手，其特征在于：
所述的撥桿的支撐端還設(shè)有能夠與磁力傳遞內(nèi)桿滾動接觸的軸承。
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