[實用新型]用于研磨墊調整裝置的機械臂有效
| 申請號： | 200920208485.8 | 申請日： | 2009-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN201483358U | 公開（公告）日： | 2010-05-26 |
| 發明（設計）人： | 邵群 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 研磨 調整 裝置 機械 | ||
1.一種用于研磨墊調整裝置的機械臂，包括殼體以及設置于所述殼體內的傳動裝置，所述殼體包括底板以及與該底板匹配的蓋子，其特征在于，所述蓋子包括至少一個頂壁和沿該頂壁邊緣向下延伸的側壁，其中所述頂壁與水平方向具有傾斜角。
2.如權利要求1所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述蓋子包括一個頂壁，所述頂壁與水平方向形成的傾斜角為1°～10°。
3.如權利要求2所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述蓋子的縱截面為直角梯形。
4.如權利要求1所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述蓋子包括兩個相互對置朝上傾斜的頂壁，所述兩個頂壁與水平方向形成的傾斜角均為1°～10°。
5.如權利要求1至4中任意一項所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述蓋子是一體成型的。
6.如權利要求1至4中任意一項所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述蓋子通過螺釘與所述底板連接。
7.如權利要求1至4中任意一項所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述底板的形狀為矩形。
8.如權利要求1至4中任意一項所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述底板上開設有第一孔和第二孔。
9.如權利要求1至4中任意一項所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述傳動裝置包括滑輪以及與所述滑輪連接的傳送帶。
10.如權利要求9所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述研磨墊調整裝置還包括與所述傳送帶連接的頭組件。
11.如權利要求10所述的用于研磨墊調整裝置的機械臂，其特征在于，所述研磨墊調整裝置還包括與所述頭組件連接的調整件。
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