[實用新型]濕法硅片自動插片機的送片槽板無效
| 申請號： | 200920187713.8 | 申請日： | 2009-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN201508849U | 公開（公告）日： | 2010-06-16 |
| 發明（設計）人： | 凌兆貴;顧韻 | 申請（專利權）人： | 無錫市南亞科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;B65G51/01;B65G49/07;B65B5/00;B65B35/10 |
| 代理公司： | 無錫華源專利事務所 32228 | 代理人： | 聶漢欽 |
| 地址： | 214024 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濕法 硅片 自動 插片機 送片槽板 | ||
【權利要求書】：
1.濕法硅片自動插片機的送片槽板，包括底板，分別安裝在所述底板上的左側板以及右側板，底板上均勻分布有導流條，其特征在于所述導流條分別開有凹槽，所述凹槽頭部與導流條之間設置過渡面，所述凹槽尾部與所述導流條尾部平齊。
2.根據權利要求1所述的濕法硅片自動插片機的送片槽板，其特征在于所述凹槽與所述導流條之間的過渡面為圓弧過渡面。
3.根據權利要求1或2所述的濕法硅片自動插片機的送片槽板，其特征在于所述凹槽按長度至少可以劃分為三組，所述每組的凹槽數量至少為三條。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
