[實用新型]一種CZ直拉單晶法真空泵

無效

• 申請號: 200920172290.2
• 申請日: 2009-05-27
• 公開（公告）號: CN201425010Y
• 公開（公告）日: 2010-03-17
• 發明（設計）人: 馬四海;張笑天
• 申請（專利權）人: 蕪湖升陽光電科技有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B39/00
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司
• 代理人: 蔣光恩

技術領域

本實用新型屬于光電轉換材料的技術領域，涉及其生產工藝設備，更具體地說，本實用新型涉及一種CZ直拉單晶法真空泵。

背景技術

目前，公知的CZ直拉單晶法需要在20torr(1KPa相當于7.6torr)以下的低壓環境下進行長晶，拉制過程中必須維持真空泵的高速運轉；真空泵運轉過程，對地面造成沖擊，形成一定頻率的震源，傳到至CZ直拉單晶爐，致使單晶無法生長。因此從真空泵引入至今，對如何隔絕震源的人們都采取了很多措施。目前普遍使用的真空泵的避震方法，都是真空泵地下墊上橡膠墊避震的方法，但橡膠墊避震的并不能很好的隔絕震動，傳到至CZ單晶爐內晶體生長失敗。

實用新型內容

本實用新型所要解決的問題是提供一種CZ直拉單晶法真空泵，其目的是提高對真空泵的隔震效果。

為了實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

本實用新型所提供的這種CZ直拉單晶法真空泵下部設有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架及避震結構，所述的避震結構為：在所述的槽鋼底架上方，設由柔性材料制成的上避震模塊；在所述的槽鋼底架下方，設由柔性材料制成的下避震模塊。

為使本實用新型更加完善，還進一步提出了以下更為詳盡和具體的技術方案，以獲得最佳的實用效果，更好地實現發明目的，并提高本實用新型的新穎性和創造性：

所述的上避震模塊為四根圓形的墊塊，用螺桿固定在槽鋼底架與真空泵上。

所述的下避震模塊為四個圓柱形的墊塊，直接置于槽鋼底架與地基之間。

所述的上避震模塊的材料為聚乙烯樹脂。

所述的下避震模塊的材料為橡膠避震墊。

本實用新型采用上述技術方案，采用兩級避震方式，更大幅度的降低真空泵的震動；采用新型的聚乙烯樹脂棒做為主要避震方式，相對橡膠避震材料效果更佳。

附圖說明

下面對本說明書各幅附圖所表達的內容及圖中的標記作簡要說明：

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1所示結構的俯視示意圖。

圖中標記為：

1、槽鋼底架，2、上避震模塊，3、下避震模塊。

具體實施方式

下面對照附圖，通過對實施例的描述，對本實用新型的具體實施方式如所涉及的各構件的形狀、構造、各部分之間的相互位置及連接關系、各部分的作用及工作原理、制造工藝及操作使用方法等，作進一步詳細的說明，以幫助本領域的技術人員對本實用新型的發明構思、技術方案有更完整、準確和深入的理解。

如圖1、圖2所表達的本實用新型的結構，本實用新型為一種CZ直拉單晶法真空泵，所述的真空泵下部設有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架1及避震結構。

為了解決在本說明書背景技術部分所述的目前公知技術存在的問題并克服其缺陷，實現提高對真空泵的隔震效果的發明目的，本實用新型采取的技術方案為：

如圖1、圖2所示，本實用新型所提供的這種CZ直拉單晶法真空泵，所述的避震結構為：在所述的槽鋼底架1上方，設由柔性材料制成的上避震模塊2；在所述的槽鋼底架1下方，設由柔性材料制成的下避震模塊3。

本實用新型真空泵避震器采用兩級避震的方式，分上下兩個避震模塊組成；其結構主要有以下3部分組成(對照圖1)：槽鋼底架1、上避震模塊2和下避震模塊3。

避震器的緩震效果主要與避震材料的彈性系數與避震材料的高度成正比。傳統的避震器為一級避震模式，僅有一個避震模塊(橡膠避震墊)，橡膠避震墊的高度一般都不是很高(約為20mm左右)，使得傳統避震器的避震效果不明顯，達不到CZ直拉單晶法拉制要求。

下面是本實用新型提供的具體實施示例，供本領域的技術人員在實施時參考應用：

實施例一：

本實用新型所述的上避震模塊2為四根圓形的墊塊，用螺桿固定在槽鋼底架1與真空泵上。

4根直徑80mm、高度為80～120mm的聚乙烯樹脂棒及固定螺絲。

實施例二：

本實用新型所述的下避震模塊3為四個圓柱形的墊塊，直接置于槽鋼底架1與地基之間。

4個直徑200mm、高度為30mm的橡膠避震墊。

實施例三：

本實用新型所述的上避震模塊2的材料為聚乙烯樹脂。

上避震模塊2由4根直徑80mm、高度為80～120mm的聚乙烯樹脂棒組成，該4根聚乙烯樹脂棒中間有螺絲空，用螺桿固定在槽鋼底架1與真空泵之間。

實施例四：

本實用新型所述的下避震模塊3的材料為橡膠避震墊。