[實用新型]一種CZ直拉單晶法真空泵無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920172290.2 | 申請日： | 2009-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN201425010Y | 公開（公告）日： | 2010-03-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬四海;張笑天 | 申請（專利權(quán)）人： | 蕪湖升陽光電科技有限公司 |
| 主分類號： | F04B37/14 | 分類號： | F04B37/14;F04B39/00 |
| 代理公司： | 蕪湖安匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 蔣光恩 |
| 地址： | 241100安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 cz 直拉單晶法 真空泵 | ||
【權(quán)利要求書】：
1、一種CZ直拉單晶法真空泵，所述的真空泵下部設(shè)有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架(1)及避震結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的避震結(jié)構(gòu)為：在所述的槽鋼底架(1)上方，設(shè)由柔性材料制成的上避震模塊(2)；在所述的槽鋼底架(1)下方，設(shè)由柔性材料制成的下避震模塊(3)。
2、按照權(quán)利要求1所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特征在于：所述的上避震模塊(2)為四根圓形的墊塊，用螺桿固定在槽鋼底架(1)與真空泵上。
3、按照權(quán)利要求1所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特征在于：所述的下避震模塊(3)為四個圓柱形的墊塊，直接置于槽鋼底架(1)與地基之間。
4、按照權(quán)利要求1或2或3所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特征在于：所述的上避震模塊(2)的材料為聚乙烯樹脂。
5、按照權(quán)利要求1或2或3所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特征在于：所述的下避震模塊(3)為橡膠避震墊。
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