[實用新型]多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器

無效

• 申請號: 200920169160.3
• 申請日: 2009-08-18
• 公開（公告）號: CN201470291U
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 唐聯生;陳立偉;劉素華;吳繼新;嚴冠雄
• 申請（專利權）人: 成都瑞奇石油化工工程有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;C01B3/56;C01B33/03
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 馬林中

1.一種多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：該加熱器包括多組與吸附柱軸向平行設置的雙程回流套管，上述多組雙程回流套管通過支撐架(10)安裝在吸附柱內部，每組雙程回流套管包括外套管(4)和內套管(5)，內套管(5)的下部通過支撐結構(3)固定在外套管(4)的內壁，內套管(5)的直徑比外套管(4)小，其長度比外套管(4)短；外套管(4)上端封閉，下端也封閉，僅通過一設置在外套管下部的出氣管(2)與外部連通，內套管(5)上端敞開，而下端封閉；進氣管(1)一端與外界連通，另一端口與外套管(4)、內套管(5)之間的環形間隙相通。

2.根據權利要求1所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：所述的每組雙程回流套管加熱器還設置有用于排出氣體的放凈裝置(7)，該放凈裝置(7)為一根設置在內套管(5)中間的中心管，該中心管上部與內套管(5)的上部齊平，下部穿過內套管(5)和外套管(4)與加熱器外部連通。

3.根據權利要求2所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：所述的內套管(5)和外套管(4)之間安裝有支撐定位板(6)。

4.根據權利要求1所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：所述的內套管(5)和外套管(4)為鋼管。

5.根據權利要求1所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：所述的支撐架(10)由與雙程回流套管加熱器數目相等的管套(11)和連接各個管套(11)的連接桿(12)組成，每個管套(11)的內壁將外套管(4)的外壁包圍，而連接桿(12)成網狀，連接多個管套(11)，固定安裝在吸附柱內壁上。

6.根據權利要求1所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：所述的各組雙程回流套管之間的進氣管(1)和出氣管(2)之間采用并聯或串聯方式連接。

7.根據權利要求6所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：所述的各組雙程回流套管之間的進氣管(1)和出氣管(2)之間采用串聯連接，即第一組雙程回流套管的進氣口(1)與最后一組雙程回流套管的出氣口(2)分別與進氣裝置和出氣接收裝置相連，其余每組雙程回流套管的出氣口(2)和下一組雙程回流套管的進氣口(1)相連。

8.根據權利要求6所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，其特征在于：所述的各組雙程回流套管之間的進氣管(1)和出氣管(2)之間采用并聯連接，即各組雙程回流套管的進氣口(1)同時與進氣裝置相連，各組雙程回流套管的出氣口(2)同時與出氣接收裝置相連。