[實用新型]多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器

無效

• 申請號: 200920169160.3
• 申請日: 2009-08-18
• 公開（公告）號: CN201470291U
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 唐聯生;陳立偉;劉素華;吳繼新;嚴冠雄
• 申請（專利權）人: 成都瑞奇石油化工工程有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;C01B3/56;C01B33/03
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 馬林中

技術領域

本實用新型涉及一種加熱器，具體涉及一種吸附柱內部的加熱器。

背景技術

在多晶硅裝置尾氣回收系統中吸附柱是極其關鍵的設備，用來吸收氫氣中的殘留的HCl和氯硅烷，從而得到高純度的氫氣。吸附柱內的吸附劑吸附工作周期為8小時左右，通過加熱再生后循環使用。通常的加熱裝置是在設備內設置內部熱水加熱盤管，但因為振動、疲勞及熱膨脹等原因，常常造成盤管損壞、設備失效，并使盤管內的水與設備內的氯硅烷、HCl、氫氣介質接觸，形成強烈的腐蝕環境并產生爆炸危險。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種多晶硅尾氣回收系統吸附柱多組雙程回流套管加熱器，解決以往吸附柱使用的盤管式加熱容易損壞，危險較大的問題。

為解決上述的技術問題，本實用新型采用以下技術方案：

一種多晶硅尾氣回收系統吸附柱的多組雙程回流套管加熱器，該加熱器包括多組與吸附柱軸向平行設置的雙程回流套管，上述多組雙程回流套管通過支撐架安裝在吸附柱內部，每組雙程回流套管包括外套管和內套管，內套管的下部通過支撐結構固定在外套管的內壁，內套管的直徑比外套管小，其長度比外套管短；外套管上端封閉，下端也封閉，僅通過一設置在外套管下部的出氣管與外部連通，內套管上端敞開，而下端封閉；進氣管一端與外界連通，另一端口與內套管、外套管之間的環形間隙相通。

更進一步的技術方案是：

所述的每組雙程回流套管加熱器還設置有用于排出氣體的放凈裝置，該放凈裝置為一根設置在內套管中間的中心管，該中心管上部與內套管的上部齊平，下部穿過內套管和外套管與加熱器外部連通。

所述的內套管和外套管之間安裝有支撐定位板。

所述的內套管和外套管為鋼管。

所述的支撐架由與雙程回流套管加熱器數目相等的管套和連接各個管套的連接桿組成，每個管套的內壁將外套管的外壁包圍，而連接桿成網狀，將多個管套連接起來，固定安裝在吸附柱內壁上。

本實用新型還可以：

所述的各組雙程回流套管之間的進氣管和出氣管之間采用并聯或串聯方式連接。

所述的各組雙程回流套管之間的進氣管和出氣管之間采用串聯連接，即第一組雙程回流套管的進氣口與最后一組雙程回流套管的出氣口分別與進氣裝置和出氣接收裝置相連，其余每組雙程回流套管的出氣口和下一組雙程回流套管的進氣口相連。

所述的各組雙程回流套管之間的進氣管和出氣管之間采用并聯連接，即各組雙程回流套管的進氣口同時與進氣裝置相連，各組雙程回流套管的出氣口同時與出氣接收裝置相連。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：加熱器整個結構緊湊，所占體積空間小，傳熱面積大，提高吸附劑的裝填量并增強換熱效率。在加熱過程中避免了加熱器的熱脹冷縮，減小了溫差應力，提高了產品的抗疲勞效果，延長了產品的使用壽命，大大降低了加熱器發生爆炸的危險性。同時將本實用新型運用在吸附柱內部吸附劑加熱再生中，能夠有效的提高產品質量，降低能耗，提高經濟效益，經過在設備上的測試和生產中的運用，其運行良好，適宜推廣運用。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體示意圖；

圖2為圖1沿A-A′的剖視圖；

圖3為本實用新型中雙程回流套管加熱器的放大示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步闡述。