[實用新型]一種振動校準用激光干涉儀

無效

• 申請號: 200920167845.4
• 申請日: 2009-07-30
• 公開（公告）號: CN201540156U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 左愛斌;于梅;劉愛東;楊麗峰;馬明德
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種振動測量儀器，特別是涉及一種振動校準用激光干涉儀。

背景技術

目前振動傳感器靈敏度的校準方法都是采用基于正弦逼近的激光干涉法，傳統的校準方法比如條紋計數、最小點法等由于只有使用一路干涉光，所以只能測量靈敏度的幅值而不能測量靈敏度的相移，且振動測量的頻率范圍也受到一定的限制。將干涉光通過一定的裝置分成兩束干涉光，其中任意一路仍然可以用來測量靈敏度幅值，通過兩路干涉光進行相位比較，就可測量出加速度靈敏度的相移。

本實用新型是為了解決現有技術中的不足而完成的，本實用新型的目的是提供一種能夠擴展振動傳感器靈敏度的測量范圍、滿足振動傳感器靈敏度相移測量的光學要求、準確測量振動傳感器靈敏度相移的激光干涉儀。

發明內容

本實用新型的一種振動校準用激光干涉儀，包括激光器和普通分光棱鏡，所述普通分光棱鏡位于所述激光器的輸出光路上，所述普通分光棱鏡的分光面與所述普通分光棱鏡的輸出光路夾角為45°，所述激光器輸出光經普通分光棱鏡分為呈90°夾角的參考光與測量光，所述參考光方向上設有將參考光原路反射回的參考反射鏡，所述測量光方向上設有將測量光原路反射回的測量反射鏡，所述測量反射鏡與振動物體固定并隨所述振動物體移動，所述反射回的參考光和測量光經普通分光棱鏡匯集形成總干涉光，所述總干涉光方向設有將總干涉光分成偏振方向正交的兩個支路干涉光的偏振分光裝置，所述兩個支路干涉光光路上分別設有光電接收器。

本實用新型的一種振動校準用激光干涉儀還可以是：

所述偏振分光裝置為偏振分光器。

所述偏振分光器為偏振分光棱鏡。

所述激光器輸出光路為水平方向，所述經過普通分光棱鏡分出的參考光為鉛垂方向，所述測量光為水平方向，所述參考反射鏡鏡面為水平方向，測量反射鏡鏡面為鉛垂方向，所述總干涉光為鉛垂方向，所述兩個支路干涉光光路分別為鉛垂方向和水平方向。

上述兩個支路干涉光分別與能夠將正交偏振的兩路干涉光光信號轉換為相位相差90°的第一光電接收器和第二光電接收器連接。

所述激光器為單頻激光器。

本實用新型的一種振動校準用激光干涉儀，相對于現有技術而言由于其在總干涉光方向設有將總干涉光分成偏振方向正交的兩個支路干涉光的偏振分光裝置，兩個支路干涉光光路上分別設有光電接收器而具有的優點為：

1.滿足振動傳感器靈敏度相移測量的光學要求。

2.除了可以準確測量振動的速度外，還可以準確測量振動傳感器靈敏度相移。

3.擴展了振動傳感器靈敏度的測量范圍。

附圖說明

圖1本實用新型一種一種振動校準用激光干涉儀實施例示意圖。

圖號說明

1…激光器?????????????2…普通分光棱鏡????3…參考反射鏡

4…測量反射鏡?????????6…偏振分光裝置

51…第一光電接收器????52…第二光電接收器

下面結合附圖圖1對本實用新型的一種振動校準用激光干涉儀作進一步詳細說明。

具體實施方式

本實用新型的一種振動校準用激光干涉儀，請參考圖1，包括激光器1和普通分光棱鏡2，普通分光棱鏡2位于激光器1的輸出光路上，普通分光棱鏡2的分光面與普通分光棱鏡2的輸出光路夾角為45°，激光器1輸出光經普通分光棱鏡2分為呈90°夾角的參考光與測量光，參考光方向上設有將參考光原路反射回的參考反射鏡3，測量光方向上設有將測量光原路反射回的測量反射鏡4，測量反射鏡4與振動物體固定并隨振動物體移動，反射回的參考光和測量光經普通分光棱鏡2匯集形成總干涉光。這些結構是現有的激光干涉儀中必須包含的部分，而本實用新型的激光干涉儀的特點在于：總干涉光方向設有可以將總干涉光分成偏振方向正交的兩個支路干涉光的偏振分光裝置6，兩個支路干涉光光路上分別設有光電接收器。具體說明，激光器1為單頻激光器。偏振分光裝置6為偏振分光器。偏振分光器為偏振分光棱鏡。當然還可以是其他結構和種類的偏振分光裝置6，只要是能夠將總干涉光分為正交的兩個支路干涉光即可。更進一步優選的方案為請參考圖1，激光器1輸出光路為水平方向，經過普通分光棱鏡2分出的參考光為鉛垂方向，測量光為水平方向，參考反射鏡3鏡面為水平方向，測量反射鏡4鏡面為鉛垂方向，總干涉光為鉛垂方向，兩個支路干涉光光路分別為鉛垂方向和水平方向。