[實用新型]一種振動校準用激光干涉儀

無效

• 申請號: 200920167845.4
• 申請日: 2009-07-30
• 公開（公告）號: CN201540156U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 左愛斌;于梅;劉愛東;楊麗峰;馬明德
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種振動校準用激光干涉儀，包括激光器和普通分光棱鏡，所述普通分光棱鏡位于所述激光器的輸出光路上，所述普通分光棱鏡的分光面與所述普通分光棱鏡的輸出光路夾角為45°，所述激光器輸出光經普通分光棱鏡分為呈90°夾角的參考光與測量光，所述參考光方向上設有將參考光原路反射回的參考反射鏡，所述測量光方向上設有將測量光原路反射回的測量反射鏡，所述測量反射鏡與振動物體固定并隨所述振動物體移動，所述反射回的參考光和測量光經普通分光棱鏡匯集形成總干涉光，其特征在于：所述總干涉光方向設有將總干涉光分成偏振方向正交的兩個支路干涉光的偏振分光裝置，所述兩個支路干涉光光路上分別設有光電接收器。

2.根據權利要求1所述的一種振動校準用激光干涉儀，其特征在于：所述偏振分光裝置為偏振分光器。

3.根據權利要求2所述的一種振動校準用激光干涉儀，其特征在于：所述偏振分光器為偏振分光棱鏡。

4.根據權利要求1所述的一種振動校準用激光干涉儀，其特征在于：所述激光器輸出光路為水平方向，所述經過普通分光棱鏡分出的參考光為鉛垂方向，所述測量光為水平方向，所述參考反射鏡鏡面為水平方向，測量反射鏡鏡面為鉛垂方向，所述總干涉光為鉛垂方向，所述兩個支路干涉光光路分別為鉛垂方向和水平方向。

5.根據權利要求1所述的一種振動校準用激光干涉儀，其特征在于：所述兩個支路干涉光分別與能夠將正交偏振的兩路干涉光光信號轉換為相位相差90°的第一光電接收器和第二光電接收器連接。

6.根據權利要求1或2或3或4或5所述的一種振動校準用激光干涉儀，其特征在于：所述激光器為單頻激光器。