[實(shí)用新型]兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920161896.6
• 申請(qǐng)日: 2009-07-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201549480U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃泳釗;鄭博仁;許建志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京邦信陽(yáng)專利商標(biāo)代理有限公司 11012
• 代理人: 王昭林;崔華

1.一種兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置，包含：一個(gè)腔體，包括上下間隔的一個(gè)底壁與一個(gè)頂壁、一個(gè)連接在所述底壁與頂壁之間的圍壁，以及一個(gè)由所述底壁、頂壁與圍壁共同界定出的腔體空間，其特征在于，所述兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置還包含：

一個(gè)批次作業(yè)機(jī)構(gòu)，包括一個(gè)設(shè)置在所述腔體空間的主軸單元、一個(gè)連結(jié)并驅(qū)動(dòng)所述主軸單元轉(zhuǎn)動(dòng)的第一動(dòng)力源，以及至少一個(gè)受所述主軸單元帶動(dòng)而運(yùn)作的從動(dòng)軸單元；及

一個(gè)連續(xù)作業(yè)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述腔體空間，并包括至少一個(gè)輸送單元，所述輸送單元包括一個(gè)第二動(dòng)力源，以及一個(gè)受所述第二動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)的輸送輪。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置，其特征在于：所述主軸單元包括一支直立延伸的主軸，以及一個(gè)與所述主軸連動(dòng)地組裝的主動(dòng)齒輪，所述第一動(dòng)力源是一個(gè)馬達(dá)，并連結(jié)所述主軸以驅(qū)動(dòng)所述主軸與所述主動(dòng)齒輪繞自身中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置，其特征在于：所述從動(dòng)軸單元包括一個(gè)與所述主動(dòng)齒輪嚙合的第一齒輪、一個(gè)與所述第一齒輪嚙合的第二齒輪、一個(gè)與所述第二齒輪連動(dòng)地結(jié)合而可受帶動(dòng)而繞自身中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)并直立延伸的從動(dòng)軸，以及多個(gè)上下間隔地設(shè)置在所述從動(dòng)軸上的置物件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置，其特征在于：所述批次作業(yè)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)彼此間隔并且都連結(jié)所述主軸單元且受所述主軸單元帶動(dòng)而運(yùn)作的從動(dòng)軸單元，所述腔體的圍壁具有多個(gè)各別對(duì)應(yīng)所述從動(dòng)軸單元的安裝部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置，其特征在于：所述輸送單元還包括一個(gè)帶動(dòng)所述輸送輪同步轉(zhuǎn)動(dòng)的傳動(dòng)輪，以及一個(gè)連結(jié)所述第二動(dòng)力源及所述傳動(dòng)輪的第一皮帶，所述第二動(dòng)力源帶動(dòng)所述傳動(dòng)輪繞一條水平軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而連動(dòng)所述輸送輪繞所述水平軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的兼具批次與連續(xù)作業(yè)的真空裝置，其特征在于：所述連續(xù)作業(yè)機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)水平的基壁、兩個(gè)自所述基壁的左右兩側(cè)向上延伸的側(cè)壁，以及兩個(gè)左右間隔設(shè)置并各別對(duì)應(yīng)所述側(cè)壁的輸送單元，所述輸送單元的傳動(dòng)輪與輸送輪各別位于所述側(cè)壁的內(nèi)側(cè)及外側(cè)。