[實用新型]兼具批次與連續作業的真空裝置

無效

• 申請號: 200920161896.6
• 申請日: 2009-07-20
• 公開（公告）號: CN201549480U
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 黃泳釗;鄭博仁;許建志
• 申請（專利權）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京邦信陽專利商標代理有限公司 11012
• 代理人: 王昭林;崔華

技術領域

本實用新型涉及一種真空裝置，特別是涉及一種可用于進行批次鍍膜、批次電漿清潔作業，或是與生產線配合進行連貫生產作業的兼具批次與連續作業的真空裝置。

背景技術

真空設備廣泛應用于半導體相關制程，其中一種主要用于批次作業的真空裝置，其腔體內部通常設有多個靶材，以及用于轟擊靶材的電子槍或離子槍，該真空裝置內部可供多片基板擺置，以對所述基板進行批次鍍膜作業，或是在基板鍍膜之前，利用電漿預先轟擊以進行基板表面清潔。

然而，上述真空裝置沒有與生產線上的其它機臺相連結或互相傳輸的構造，因此該真空裝置為獨立裝置，并只能用于進行批次鍍膜作業，而無法與生產線上其它作業流程整并以完成連續作業，欲進行連續作業時，則必須使用另一種專用于連續作業的真空裝置。也就是說，目前真空裝置的設計，不是只單獨作為批次作業使用，就是只單獨供連續作業使用，尚沒有任何單一裝置兼具有批次作業與連續作業的功能，使用上不盡理想。

實用新型內容

本實用新型的目的是在提供一種應用性廣、使用方便的兼具批次與連續作業的真空裝置。

本實用新型兼具批次與連續作業的真空裝置，包含：一腔體、一批次作業機構以及一連續作業機構。

該腔體包括上下間隔的一底壁與一頂壁、一連接在所述底壁與頂壁之間的圍壁，以及一由所述底壁、頂壁與圍壁共同界定出的腔體空間。該批次作業機構包括一設置在該腔體空間的主軸單元、一連結并驅動該主軸單元轉動的第一動力源，以及至少一個受該主軸單元帶動而運作的從動軸單元。該連續作業機構設置在該腔體空間，并包括至少一個輸送單元，該輸送單元包括一第二動力源，以及至少一受該第二動力源驅動而轉動的輸送輪。

本實用新型的有益效果在于：借由同時設置該批次作業機構及連續作業機構，操作者可視作業需求而選擇進行批次作業或連續作業，達到雙重使用、應用性廣等優點。

附圖說明

圖1是一局部剖視的立體圖，顯示本實用新型兼具批次與連續作業的真空裝置的一最優選實施例；

圖2是該最優選實施例的一前側的外殼取下后的前視圖，且圖2的底部局部剖視以顯示一主動齒輪與多個從動軸單元的連結關系；

圖3是取自圖2的局部放大圖；

圖4是該最佳實施例的俯視剖視圖。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。

參閱圖1、2、3、4，本實用新型兼具批次與連續作業的真空裝置的最優選實施例，可用于帶動多片第一基板41在原地轉動，以及輸送二片第二基板42前后移動，而且該真空裝置包含：一腔體1、一批次作業機構2，以及一連續作業機構3。

該腔體1是由兩個前后對接的外殼10所組成，所述外殼10對接后，該腔體1包括上下間隔的一底壁11與一頂壁12、一圍繞一中心軸線L1并連接在所述底壁11與頂壁12之間的圍壁13，以及一由所述底壁11、頂壁12與圍壁13共同界定出的腔體空間14。所述圍壁13具有一個直立設置的連通口131，以及多個彼此間隔的安裝部132。該連通口131用于連結生產線上的其它機臺，并供由其它機臺輸送而來的第二基板42經由該連通口131進入該腔體空間14。所述安裝部132都可供一靶材進行濺鍍，或是供用于清潔腔體或清潔基板的裝置擺置。

該批次作業機構2包括一主軸單元21、一第一動力源22，以及多個從動軸單元23。其中，該主軸單元21包括一個直立延伸于該腔體空間14的中央的長桿狀主軸211，以及一個與該主軸211連動固結的主動齒輪212。該主軸211具有一個向下突出于該主動齒輪212的下表面的動力連接部213。該主動齒輪212圍繞連結在該主軸211的外周，并且位于該腔體1的底壁11的上表面。該第一動力源22為一個馬達，且該第一動力源22的一第一動力軸221透過一圖未示出的聯軸器連結該主軸211的動力連接部213，以驅動該主軸211與該主動齒輪212同步地繞自身中心軸線轉動，也就是繞該中心軸線L1轉動。