[實用新型]保護滾輪的外罩裝置

有效

• 申請號: 200920153532.3
• 申請日: 2009-07-17
• 公開（公告）號: CN201485502U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 安德烈·馬克;喬戈·柯斯堡穆爾;斯蒂芬·施耐德;阿諾·吉德爾
• 申請（專利權）人: 歐瑞康太陽能智慧財產特魯巴赫股份公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/54;C23C16/04;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 楊靜;郭鴻禧

技術領域

本實用新型是關于傳送沉積系統中的基材的領域。特別地是，本實用新型是揭示用于改善一基材沉積系統制程成效的裝置及其方法。

背景技術

光電伏特裝置、光電轉換裝置或太陽電池為可將光(特別是陽光)轉換成直流電力的裝置。為了廉價大量生產，薄膜太陽電池是想要的，由于其允許將玻璃、玻璃陶瓷或其它堅硬或彈性基材當作基底材料(即是基材)使用，取代結晶或多晶硅。太陽電池結構(即是負責或能夠發揮光電伏特效果的層序列)沉積在薄層中。

該等層的沉積通常是在一CVD系統中完成。反應物(例如先驅物材料)通過所謂氣體沖洗而饋入制程站。待處理(例如涂層)的基材(例如工作部件)被置于熱板(即是一基材載體)上加熱，以建立用于在基材表面上沉積的較佳環境。通常，這些至少部分的反應物會被沉積，然而殘留物會經由排氣構件(例如真空泵)加以排除。

隨著傳統系統，基材通過滾輪組(從下方支撐基材)，透過系統予以水平傳送。通常，基材是矩形或方形片玻璃、玻璃陶瓷、微晶玻璃、塑料或甚至金屬。滾輪通常例如經由傳動軸，通過馬達予以促動。

當這些滾輪配置在制程室內(例如CVD統的的制程站)時，滾輪會暴露于制程氣體，例如反應物及/或前驅物，且如此將會隨時間涂層。此涂層會負面影響系統的制程成效。首先，滾輪會受到涂料的污染，且在進一步使用滾輪涂層期間，將傳輸至基材的低端并將被黏住。如此，隨后系統的隨后系統成效會受到負面影響。其次，配置在用于傳送基材的滾輪上的O型環涂層將會慢慢地建立并在特定某些薄膜厚度上開始剝落。這些薄片會污染制程室并負面影響基材的涂層。

結果，存在對于改善此系統制程成效的需要。

實用新型內容

本實用新型的目的是要改善基材處理系統的流程成效，特別是改善用于基材處理系統的滾輪成效。

因此，此目的可通過一裝置達成，該裝置包括至少一滾輪，用于傳送沉積系統中的基材；及至少一外罩構件，其中該滾輪可從基材收回，且該外罩構件被調適成至少部分保護收回滾輪，以免受到沉積系統中出現的物質所污染。

因此，本實用新型的一必要觀念是要至少部分保護收回的滾輪不受到沉積的影響。有利地是，收回和至少部分受保護的滾輪及/或至少一些重要部份收回滾輪受到保護，以免受到起源于制程氣體涂層的污染，例如來自使用在沉積系統的前驅物。

此外，當變成不能收回(即是延伸)及傳送另一基材時，此受保護的滾輪將不會負面影響另一基材。因此，本實用新型可避免從用于沉積系統的物質出現的任何負面影響，例如前驅物、及/或前驅物的反應產物、及影響滾輪，為了不降低隨后系統進一步處理基材的成效位準。換句話說，一般會不預期地發現，避免負面影響沉積系統質量及/或成效的滾輪上任何不想要涂層可通過在沉積系統的制程步驟期間至少部分保護滾輪而加以達成。如此，制程氣體不能夠到達滾輪的表面并沉積在那里。優選地，外罩構件可保護該收回的滾輪。在甚至更佳具體實施例中，外罩構件可完全保護該收回的滾輪。

優選地，該沉積系統是調適成光電伏特裝置制造，即是該沉積系統允許制造光電伏特裝置，例如基于基材。

根據本實用新型，滾輪可收回以減少其隨后處理步驟的影響。術語「收回」意謂從基材移開滾輪，即是移開滾輪支撐基材的工作位置，最好是從下面，例如在沉積系統中。一旦從基材收回，外罩構件可至少部分保護滾輪，以免受到例如在光電伏特裝置制造中所使用物質的影響。一旦使用前驅物的意欲處理已發生，滾輪將不會受到保護(即是延伸)至回到其工作位置，通過降低基材支撐可將基材置放在滾輪及傳送基材。最好地是，沉積系統包括復數個滾輪(例如此方式的情況)，該等滾輪的一部份配置在基材的一端，且該等滾輪的另一部份配置在基材的另一端。在另一具體實施例中，該基材只從其較低表面后端接觸。因此，不需要基材載體或架。如果出現在意欲位置，基材支撐體(例如一熱臺)會從較低位提起，以從滾輪提起基材。

外罩構件可如從先前技術已知的任何適當外罩構件提供。最佳地是，外罩構件可如同一活板、一活板門、一外罩、一附件屏蔽、一阻壁、一護板、及/或含有開口的護板予以提供。在一甚至更佳具體實施例中，外罩構件包括一材料，該材料可防止物質用于光電伏特裝置制造(例如鋁或金屬)，因此，外罩構件的材料提供足夠和持續性保護，防止此前驅物(即是制程氣體)使用例如在光電伏特裝置制造。在另一具體實施例中，外罩構件調適成完全保護收回的滾輪。