[實用新型]保護滾輪的外罩裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920153532.3
• 申請日: 2009-07-17
• 公開（公告）號: CN201485502U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 安德烈·馬克;喬戈·柯斯堡穆爾;斯蒂芬·施耐德;阿諾·吉德爾
• 申請（專利權(quán)）人: 歐瑞康太陽能智慧財產(chǎn)特魯巴赫股份公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/54;C23C16/04;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 楊靜;郭鴻禧

1.一種裝置，其包括：

至少一滾輪(2)，其用于傳送一沉積系統(tǒng)中的一基材(1)；及至少一外罩構(gòu)件(6)，其中

該滾輪為可離開基材而收回；及

該外罩構(gòu)件被調(diào)適成至少部分保護該收回的滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)中出現(xiàn)的物質(zhì)所污染。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該收回的滾輪受到外罩裝置的保護。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該滾輪被調(diào)適成關(guān)閉及/或打開該外罩裝置。

4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一平衡力構(gòu)件(9)及/或一彈簧構(gòu)件(11)，其被調(diào)適成打開該外罩構(gòu)件。

5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一凸出構(gòu)件(10)，且當(dāng)收回該滾輪時，該凸出構(gòu)件被調(diào)適成關(guān)閉該外罩構(gòu)件。

6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件被調(diào)適成隨著一軸(8，13)進行旋轉(zhuǎn)，且該軸與該滾輪的收回運動方向平行或垂直，及/或該外罩構(gòu)件被調(diào)適可于該滾輪收回運動方向垂直滑動。

7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一板輪(5)，用于導(dǎo)引基材。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，該板輪可通過一彈簧構(gòu)件(15)連接至該滾輪，該彈簧構(gòu)件被調(diào)適成延伸該滾輪。

9.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該裝置包括一清潔構(gòu)件(16)，用于從基材收回該滾輪、及/或該滾輪朝向基材延伸時，可清潔該滾輪。

10.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該物質(zhì)為一前驅(qū)物及/或該前驅(qū)物的反應(yīng)產(chǎn)物。

11.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該滾輪包括一O型環(huán)(4)，用于傳送該基材，且該外罩構(gòu)件被調(diào)適成保護該O型環(huán)。

12.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，該外罩構(gòu)件包括一調(diào)整組件，用于安裝在沉積系統(tǒng)內(nèi)；及一可移動組件，用于至少部分保護該收回滾輪。