[實用新型]一種硅片旋轉甩干裝置

有效

• 申請號: 200920150860.8
• 申請日: 2009-06-10
• 公開（公告）號: CN201488476U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 耿彪
• 申請（專利權）人: 耿彪
• 主分類號: F26B5/08
• 分類號: F26B5/08
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 黃家俊

技術領域

本實用新型涉及一種機械裝置，尤其涉及一種干燥既全面又徹底、成本較低的硅片旋轉甩干裝置。

背景技術

傳統的裝置具有以下的不足之處：1)干燥程度不徹底、不全面；2)成本較高、性價比不高。

實用新型內容

為了克服現有技術中的缺陷，本實用新型提供一種干燥既全面又徹底、成本較低的硅片旋轉甩干裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種硅片旋轉甩干裝置，包括一槽體，該槽體中心位置具有一旋轉軸，該旋轉軸自上而下設有軸承、花籃，所述旋轉軸的下端與一同步帶輪相連接，該同步帶輪上纏繞有同步帶，所述槽體的左方設有一花籃。

所述軸承設于軸承座，所述花籃設于花籃托盤內。

由于采用了上述技術方案，本實用新型具有如下的有益效果：

干燥程度更加全面、更加徹底；制造成本更加低廉，性價比大大提升。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

一種硅片旋轉甩干裝置，包括一槽體，該槽體中心位置具有一旋轉軸，該旋轉軸自上而下設有軸承、花籃，所述旋轉軸的下端與一同步帶輪相連接，該同步帶輪上纏繞有同步帶，所述槽體的左方設有一花籃。

所述軸承設于軸承座，所述花籃設于花籃托盤內。

本實用新型的優點在于：干燥程度更加全面、更加徹底；制造成本更加低廉，性價比大大提升。

顯然，本實用新型的上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型所作的舉例，而并非是對本實用新型的實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無法對所有的實施方式予以窮舉。凡是屬于本實用新型的技術方案所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型的保護范圍之列。