[實用新型]一種硅片旋轉甩干裝置有效
| 申請號： | 200920150860.8 | 申請日： | 2009-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN201488476U | 公開（公告）日： | 2010-05-26 |
| 發明（設計）人： | 耿彪 | 申請（專利權）人： | 耿彪 |
| 主分類號： | F26B5/08 | 分類號： | F26B5/08 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 黃家俊 |
| 地址： | 101101 北京市通州*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 旋轉 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片旋轉甩干裝置，其特征在于：包括一槽體，該槽體中心位置具有一旋轉軸，該旋轉軸自上而下設有軸承、花籃，所述旋轉軸的下端與一同步帶輪相連接，該同步帶輪上纏繞有同步帶，所述槽體的左方設有一花籃。
2.根據權利要求1所述的硅片旋轉甩干裝置，其特征在于：所述軸承設于軸承座，所述花籃設于花籃托盤內。
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