[實用新型]大氣壓等離子體處理中用于收集和過濾副反應物的過濾系統

無效

• 申請號: 200920149056.8
• 申請日: 2009-04-14
• 公開（公告）號: CN201470300U
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 王浩宏;馬勁民
• 申請（專利權）人: 恒進微電子有限公司
• 主分類號: B01D53/38
• 分類號: B01D53/38
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王新華

【技術領域】

本實用新型涉及一種過濾系統，尤其涉及一種大氣壓等離子體處理中用于收集和過濾副反應物的過濾系統。

【背景技術】

在許多產業中，大氣壓等離子體處理是部分替代濕法處理的一種主要趨勢。由于多數物質或材料不得不在濕法處理后進行干燥，因此濕法處理需消耗大量能量。而且，在許多國家，濕法處理還需要污水處理系統來達到環境指標。相對于大氣壓等離子體處理，濕法處理的這些污水系統消耗更多能量，占用面積大，且需要專家和作業員進行操作。

大氣壓等離子體處理產生不同類型的具有強烈異味的反應副產品。

在大氣壓等離子體處理中，目標材質經常會被不知名的污染物污染。這些污染物在等離子體處理中或處理后，會形成不同類型的反應副產品，例如，氮組，氧組，氫組，碳組等等。

然而，這些反應副產品對環境，制造工藝，制造產品，再次污染及人身健康等重要方面造成的后果卻鮮為人知。其中有些反應副產品還會對人體造成生理危害，而有些則會造成環境污染。因此，對這些反應副產品的處理是必不可少的。

現有的大氣壓等離子體處理裝置僅配有普通的排氣功能，但該排氣功能缺少在反應副產品被排出之前對其進行處理的功能，因此，使得環境大氣不得不吸收這些反應副產品，并對我們的工作環境造成了危害。因此，妨礙了大氣壓等離子體處理技術在行業內的發展。

在大氣壓等離子體處理中，如清洗，蝕刻，切割，表面修復等，還沒有一個過濾系統可以對這些反應副產品進行處理。

至今，業內人士仍未將明確地了解上述需求的迫切性，也未意識到這種過濾系統的益處，如有助于擴展生產工藝的窗口，改善健康標準，增加生產的靈活性和功能性。

【實用新型內容】

本實用新型的主要目的在于提供一種大氣壓等離子體處理中用于收集和過濾副反應物的過濾系統，其中該過濾系統能夠在含反應副產品的氣體被排出之前對反應副產品進行處理，從而避免空氣污染。

本實用新型的另一目的在于提供一種過濾系統，由于該過濾系統的吸入頭和大氣壓等離子體系統的等離子頭相互結合，因此該過濾系統附帶地清除這些反應副產品，避免了再次污染。

本實用新型的另一目的在于提供一種過濾系統，相對于濕法處理方法中的污水處理法，該過濾系統具有更低的投資成本。

相應地，為了完成上述目的，本實用新型提供了一種大氣壓等離子體處理中用于收集和過濾副反應物的過濾系統，其中，該過濾系統能夠被集成到一個大氣壓等離子體系統中帶有噴頭的等離子頭上，該過濾系統包括：

吸入頭，設置在大氣壓等離子體系統中的等離子頭上，用于收集和指引含有反應副產品的氣體；

抽氣單元，通過通氣元件連接到吸入頭，用于將來自吸入頭的含有反應副產品的氣體通過通風元件進行排放；和

過濾單元，通過通氣元件分別連接至吸入頭和抽氣單元，用于過濾含有反應副產品的氣體。

優選地，吸入頭進一步包括固定部和延伸自固定部的收集部，其中固定部附加在等離子體的等離子頭上，和收集部設置在噴頭的外圍，以收集含有反應副產品的氣體。吸入頭進一步包括延伸自收集部的連接部，用于連通吸入頭和通風元件。吸入頭可拆卸地安裝在大氣壓等離子體的噴頭上。吸入頭集成到大氣壓等離子體的噴頭上。

優選地，過濾系統進一步包括設置在通氣元件上的抽氣出口，用于排放被過濾單元過濾的處理后產品。

優選地，通氣元件具體為多個管道，分別用于密封地連接吸入頭，抽氣單元和過濾單元。

優選地，過濾單元包括至少一個能與包含在氣體中的反應副產品中至少一組進行反應的過濾件。

本實用新型公開了一種大氣壓等離子體處理中用于收集和過濾副反應物的過濾系統。該過濾系統包括用于收集和指引含有反應副產品的氣體的吸入頭，用于過濾包含于氣體中的反應副產品的過濾單元，以及用于排放來自吸入頭的含有反應副產品的氣體至過濾單元并最終排放含有滿足環境標準的處理后產品的氣體的抽氣單元。

本實用新型所述的過濾系統是一個對環境無危害且緊湊的系統，該系統占用少量的工作空間。具有此過濾系統的大氣壓等離子體處理可以簡便地集成到現有的生產線中，而不需要進行對現有的生產線進行改裝。因此，相對于濕法處理方法，過濾系統只需更低的投資成本。其次，具有此過濾系統的大氣壓等離子體處理系統的維修費用更加低廉，如只需幾個甚至不需工作人員進行操作，操作成本更低。此外，由于過濾系統的吸入頭和大氣壓等離子體處理系統的等離子頭相互結合，其附帶地消除了這些反應副產品，因此避免了再次污染。