[實用新型]大氣壓等離子體處理中用于收集和過濾副反應物的過濾系統

無效

• 申請號: 200920149056.8
• 申請日: 2009-04-14
• 公開（公告）號: CN201470300U
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 王浩宏;馬勁民
• 申請（專利權）人: 恒進微電子有限公司
• 主分類號: B01D53/38
• 分類號: B01D53/38
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王新華

1.一種大氣壓等離子體處理中用于收集和過濾副反應物的過濾系統，其中，該過濾系統能夠被集成到一個大氣壓等離子體系統中帶有噴頭的等離子頭上，其特征在于，該過濾系統包括：

吸入頭，設置在所述大氣壓等離子體系統中的所述等離子頭上，用于收集和指引含有反應副產品的氣體；

抽氣單元，通過通氣元件連接到所述吸入頭，用于將來自所述吸入頭的含有所述反應副產品的所述氣體通過所述通風元件進行排放；和

過濾單元，通過所述通氣元件分別連接至所述吸入頭和所述抽氣單元，用于過濾含有所述反應副產品的所述氣體。

2.如權利要求1所述的過濾系統，其中，所述吸入頭進一步包括固定部和延伸自所述固定部的收集部，其中所述固定部附加在所述等離子體的所述等離子頭上，和所述收集部設置在所述噴頭的外圍，以收集含有所述反應副產品的所述氣體。

3.如權利要求2所述的過濾系統，其中，所述吸入頭進一步包括延伸自所述收集部的連接部，用于連通所述吸入頭和所述通風元件。

4.如權利要求1所述的過濾系統，其中，所述吸入頭可拆卸地安裝在所述大氣壓等離子體的所述噴頭上。

5.如權利要求3所述的過濾系統，其中，所述吸入頭可拆卸地安裝在所述大氣壓等離子體的所述噴頭上。

6.如權利要求1所述的過濾系統，其中，所述吸入頭集成到所述大氣壓等離子體的所述噴頭上。

7.如權利要求3所述的過濾系統，其中，所述吸入頭集成到所述大氣壓等離子體的所述噴頭上。

8.如權利要求1所述的過濾系統，其中，所述過濾系統進一步包括設置在所述通氣元件上的抽氣出口，用于排放被所述過濾單元過濾的處理后產品。

9.如權利要求1所述的過濾系統，其中，所述通氣元件具體為多個管道，分別用于密封地連接所述吸入頭，所述抽氣單元和所述過濾單元。

10.如權利要求1所述的過濾系統，其中，所述過濾單元包括至少一個能與包含在所述氣體中的所述反應副產品中至少一組進行反應的過濾件。