[實(shí)用新型]硅芯盛載裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920135232.2
• 申請(qǐng)日: 2009-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201378590Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余仲;黃進(jìn)權(quán)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市捷佳創(chuàng)精密設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/687
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 胡朝陽(yáng);孫潔敏

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種硅材料加工中使用的盛載裝置，尤其涉及一種用于硅材料清洗設(shè)備中的硅芯盛載裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有硅材料清洗設(shè)備中，硅芯在腐蝕處理過(guò)程中容易接觸在一起，導(dǎo)致腐蝕不完全，影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此，如何在硅芯材料腐蝕處理過(guò)程中使硅芯相互隔開(kāi)，保證整個(gè)腐蝕處理過(guò)程中沒(méi)有死點(diǎn)，是業(yè)內(nèi)亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，提出一種硅芯盛載裝置，該裝置能保證硅芯在腐蝕處理過(guò)程進(jìn)行的更徹底。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種硅芯盛載裝置，該裝置包括：左轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)和右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)，左右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)中心分別向外側(cè)伸出一提手；安裝在左右轉(zhuǎn)動(dòng)輪中心孔之間的中心軸；至少兩個(gè)套設(shè)在該中心軸上的硅芯圓盤(pán)，所述硅芯圓盤(pán)的圓周上均勻設(shè)置有放置硅芯的腔體。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述硅芯圓盤(pán)上的腔體向外設(shè)置有開(kāi)口，所述的硅芯圓盤(pán)上設(shè)置有兩個(gè)可打開(kāi)/封閉所述腔體開(kāi)口的轉(zhuǎn)動(dòng)蓋板。

在本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中，所述硅芯圓盤(pán)上的腔體為封閉孔，所述的左右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)上設(shè)置有與所述腔體上的封閉孔對(duì)應(yīng)的插孔。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型采用直接放入或從側(cè)面垂直插入的方式將硅芯放入硅芯盛載藍(lán)中，保證硅芯在腐蝕處理過(guò)程中不接觸在一起，使硅芯在整個(gè)腐蝕處理過(guò)程中沒(méi)有死點(diǎn)，腐蝕處理更徹底。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合較佳實(shí)施例和如圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明，其中：

圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是沿圖1中A-A方向的剖視圖；

圖3是本實(shí)用新型另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是沿圖3中A-A方向的剖視圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的硅芯盛載裝置包括：左轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)1和右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)2，左轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)中心向外側(cè)伸出一提手11，右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)中心向外側(cè)伸出一提手21；安裝在所述左右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)通孔內(nèi)的中心軸3；至少兩個(gè)套設(shè)在中心軸上的硅芯圓盤(pán)4。

硅芯圓盤(pán)4的圓周上均勻設(shè)置有放置硅芯的腔體41。在該實(shí)施例中，腔體向外設(shè)置有開(kāi)口，硅芯5可直接從硅芯圓盤(pán)的圓周邊放入腔體。為防止硅芯從腔體滑出，硅芯圓盤(pán)上設(shè)置有打開(kāi)/封閉腔體開(kāi)口的轉(zhuǎn)動(dòng)蓋板42。轉(zhuǎn)動(dòng)蓋板可以為兩個(gè)或多個(gè)，該實(shí)施例中有三個(gè)。轉(zhuǎn)動(dòng)蓋板的內(nèi)側(cè)可以設(shè)計(jì)成與硅芯周邊配合的曲面，便于硅芯水平放置后裝夾。。

圖2為本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例。在該實(shí)施例中，硅芯圓盤(pán)上的腔體41為封閉孔，左右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)上設(shè)置有與腔體41上的封閉孔對(duì)應(yīng)的插孔。硅芯5直接從垂直左右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)的插孔中插入即可。為防止硅芯滑出，可以在左右轉(zhuǎn)動(dòng)輪盤(pán)上設(shè)置防護(hù)裝置。

本實(shí)用新型適用于不同規(guī)格的圓形、方形或其它形狀的硅芯處理，有效地保證了硅芯的腐蝕效果。

上述公開(kāi)的具體實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型，在本實(shí)用新型的構(gòu)思下，還可以有多種變化，這些變化應(yīng)該涵蓋在本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。