[實用新型]硅芯盛載裝置

有效

• 申請號: 200920135232.2
• 申請日: 2009-02-27
• 公開（公告）號: CN201378590Y
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: 余仲;黃進權
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳創精密設備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及一種硅材料加工中使用的盛載裝置，尤其涉及一種用于硅材料清洗設備中的硅芯盛載裝置。

背景技術

現有硅材料清洗設備中，硅芯在腐蝕處理過程中容易接觸在一起，導致腐蝕不完全，影響產品質量。因此，如何在硅芯材料腐蝕處理過程中使硅芯相互隔開，保證整個腐蝕處理過程中沒有死點，是業內亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是解決上述現有技術中存在的問題，提出一種硅芯盛載裝置，該裝置能保證硅芯在腐蝕處理過程進行的更徹底。

本實用新型采用的技術方案是設計一種硅芯盛載裝置，該裝置包括：左轉動輪盤和右轉動輪盤，左右轉動輪盤中心分別向外側伸出一提手；安裝在左右轉動輪中心孔之間的中心軸；至少兩個套設在該中心軸上的硅芯圓盤，所述硅芯圓盤的圓周上均勻設置有放置硅芯的腔體。

在本實用新型的一個實施例中，所述硅芯圓盤上的腔體向外設置有開口，所述的硅芯圓盤上設置有兩個可打開/封閉所述腔體開口的轉動蓋板。

在本實用新型的另一個實施例中，所述硅芯圓盤上的腔體為封閉孔，所述的左右轉動輪盤上設置有與所述腔體上的封閉孔對應的插孔。

與現有技術相比，本實用新型采用直接放入或從側面垂直插入的方式將硅芯放入硅芯盛載藍中，保證硅芯在腐蝕處理過程中不接觸在一起，使硅芯在整個腐蝕處理過程中沒有死點，腐蝕處理更徹底。

附圖說明

下面結合較佳實施例和如圖對本實用新型進行詳細的說明，其中：

圖1是本實用新型一實施例的結構示意圖；

圖2是沿圖1中A-A方向的剖視圖；

圖3是本實用新型另一實施例的結構示意圖；

圖4是沿圖3中A-A方向的剖視圖。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型設計的硅芯盛載裝置包括：左轉動輪盤1和右轉動輪盤2，左轉動輪盤中心向外側伸出一提手11，右轉動輪盤中心向外側伸出一提手21；安裝在所述左右轉動輪盤通孔內的中心軸3；至少兩個套設在中心軸上的硅芯圓盤4。

硅芯圓盤4的圓周上均勻設置有放置硅芯的腔體41。在該實施例中，腔體向外設置有開口，硅芯5可直接從硅芯圓盤的圓周邊放入腔體。為防止硅芯從腔體滑出，硅芯圓盤上設置有打開/封閉腔體開口的轉動蓋板42。轉動蓋板可以為兩個或多個，該實施例中有三個。轉動蓋板的內側可以設計成與硅芯周邊配合的曲面，便于硅芯水平放置后裝夾。。

圖2為本實用新型的另一個實施例。在該實施例中，硅芯圓盤上的腔體41為封閉孔，左右轉動輪盤上設置有與腔體41上的封閉孔對應的插孔。硅芯5直接從垂直左右轉動輪盤的插孔中插入即可。為防止硅芯滑出，可以在左右轉動輪盤上設置防護裝置。

本實用新型適用于不同規格的圓形、方形或其它形狀的硅芯處理，有效地保證了硅芯的腐蝕效果。

上述公開的具體實施例僅用于說明本實用新型，在本實用新型的構思下，還可以有多種變化，這些變化應該涵蓋在本實用新型權利要求的保護范圍之內。