[實用新型]一種銀漿盤裝置

有效

• 申請號: 200920133609.0
• 申請日: 2009-07-08
• 公開（公告）號: CN201466009U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發明（設計）人: 李蔚然
• 申請（專利權）人: 深圳市翠濤自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/50
• 分類號: H01L21/50
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所 44268
• 代理人: 王永文

1.一種銀漿盤裝置，用于給固晶機提供銀漿，包括電機，所述電機通過轉軸驅動連接一銀漿盤，用于帶動所述銀漿盤轉動，還包括用于保持所述銀漿盤內銀漿表面平整的刮刀，其特征在于，一調節螺釘通過磁鐵吸引連接所述刮刀，用于調節所述刮刀與所述銀漿表面之間的距離。

2.如權利要求1所述的銀漿盤裝置，其特征在于，還包括一調節臺，所述調節臺上設置有適配所述調節螺釘的調節螺釘孔。

3.如權利要求2所述的銀漿盤裝置，其特征在于，所述調節臺包括調節臺本體和凸起部，所述調節臺本體與所述凸起部之間設置有間隙；

所述調節螺釘孔貫穿所述調節臺本體和凸起部；

所述調節臺上還設置有貫穿所述調節臺本體的鎖緊孔；

一鎖緊螺釘穿過所述鎖緊孔，一端頂持在所述凸起部上，用于通過調節所述調節臺本體和凸起部之間的間隙改變所述調節螺釘孔的螺距來固定所述調節螺釘。

4.如權利要求1所述的銀漿盤裝置，其特征在于，所述電機驅動連接第一傳動輪，所述第一傳動輪通過皮帶連接第二傳動輪，所述第二傳動輪連接所述轉軸，用于帶動連接在所述轉軸上的銀漿盤轉動。

5.如權利要求4所述的銀漿盤裝置，其特征在于，還包括一電機座，用于固定所述電機，所述第一傳動輪連接在所述電機的電機軸上；還包括一轉軸座，用于固定所述轉軸，所述第二傳動輪連接在所述轉軸上；所述電機座與所述轉軸座之間設置有調節裝置，用于通過調節電機座與轉軸座之間的距離來調節所述第一傳動輪與所述第二傳動輪之間皮帶的松緊。

6.如權利要求3所述的銀漿盤裝置，其特征在于，所述刮刀表面設置有凹槽，用于放置第一磁鐵；所述調節螺釘兩端伸出所述調節螺釘孔，所述調節螺釘的底部設置有磁鐵盤，用于放置第二磁鐵。

7.如權利要求3所述的銀漿盤裝置，其特征在于，所述刮刀上設置有銀漿盤蓋，用于減少所述銀漿盤內銀漿暴露在外的面積。