[實(shí)用新型]承載裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920132047.8
• 申請(qǐng)日: 2009-05-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201490172U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡榮光;黃炯菖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳華映顯示科技有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 張全文

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及實(shí)用新型一種承載裝置。

背景技術(shù)

近年來(lái)，隨著產(chǎn)業(yè)日益發(fā)達(dá)，為了提升產(chǎn)品的產(chǎn)能以及制造良率，對(duì)于機(jī)械設(shè)備的需求也日益增加。其中，機(jī)械設(shè)備中與產(chǎn)品直接接觸的承載裝置為影響產(chǎn)品產(chǎn)能以及良率的重要因素。舉例而言，承載裝置中結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的精確度越高，越能降低機(jī)械設(shè)備的維修次數(shù)以及縮短每次機(jī)械設(shè)備的維修時(shí)間，產(chǎn)能就能適度提升。再者，承載裝置中與產(chǎn)品接觸的磨耗越少時(shí)，就能維持產(chǎn)品的良率。因此，承載裝置的優(yōu)劣攸關(guān)產(chǎn)品的制造成本，進(jìn)而影響產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

一般而言，傳統(tǒng)設(shè)置于機(jī)械設(shè)備中的承載裝置主要是由一基座以及多個(gè)固定于基座上的支撐墊所構(gòu)成。以顯示器的生產(chǎn)流程為例，待載物(如基板)與所述多個(gè)支撐墊接觸并通過(guò)這些支撐墊承載于基座上，使得基板與基座之間保持一定高度。在實(shí)際運(yùn)作中，基板傳送機(jī)構(gòu)(如機(jī)械手臂等)會(huì)伸入基板與基座之間的空間而將基板往下一制作流程傳送?，F(xiàn)有的支撐墊除了用以維持基板被傳送時(shí)所需的高度外，尚有防止基板滑動(dòng)以及避免基板直接與基座接觸而產(chǎn)生刮傷的功能。

然而，前述的支撐墊是利用螺牙鎖固于基座上，且當(dāng)基板承載于前述支撐墊上時(shí)，基板的重量會(huì)施加于與其接觸的支撐墊上，由于前述支撐墊僅能以單點(diǎn)的方式接觸基板，因此每一支撐墊所承受的力量較大。這種支撐墊在機(jī)械設(shè)備經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn)之后，不可避免地容易產(chǎn)生磨損的問(wèn)題，嚴(yán)重者，支撐墊的螺牙甚至?xí)擅摶虻袈?。如此一?lái)，除了會(huì)影響基板傳送至下一流程的精確度外，嚴(yán)重者還會(huì)將磨耗產(chǎn)生的微粒(particle)滯留于生產(chǎn)的產(chǎn)品中，而且松脫或掉落的支撐墊若滯留在基板的傳送路徑上亦會(huì)造成產(chǎn)品的刮傷或破片。尤其對(duì)于集成電路或液晶顯示器等無(wú)塵等級(jí)要求度甚高的半導(dǎo)體制程而言，這種通過(guò)支撐墊來(lái)承載基板的承載裝置對(duì)產(chǎn)品的產(chǎn)能以及良率是一大殺手。

由于支撐墊屬于耗材，除了需要定時(shí)更換外，再加上現(xiàn)有的支撐墊較容易損壞，因此機(jī)械設(shè)備需要較頻繁地停機(jī)來(lái)定期維修。此外，由于支撐墊是個(gè)別獨(dú)立地設(shè)置在基座上，因此支撐墊的拆卸、新品安裝或維修不易，甚至需要將基座自承載裝置拆卸下來(lái)進(jìn)行大規(guī)模調(diào)整。實(shí)務(wù)上，在生產(chǎn)設(shè)備的一般保養(yǎng)時(shí)程或者是故障排除時(shí)，由于機(jī)臺(tái)可容許的停滯時(shí)間不長(zhǎng)，因此在有限的時(shí)間內(nèi)如何進(jìn)行承載裝置中支撐墊的維修以確保生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的精確度，提高生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的時(shí)間稼動(dòng)率成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一大重要課題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于實(shí)用新型提供一種承載裝置，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)提供的具有承載待載物的支撐條可維護(hù)性差的問(wèn)題。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，實(shí)用新型一種承載裝置，其適于承載一基板，且承載裝置包括基座、支撐條以及固定件。基座具有一承載面以及一相對(duì)于承載面的背面。支撐條位于承載面上，基板適于與支撐條接觸而承載于基座的承載面上。固定件自背面穿設(shè)部分基座而將支撐條鎖固于基座的承載面上。

在本實(shí)用新型實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的基座例如是包括二承載板，其中承載板彼此相隔一距離而沿著水平面設(shè)置，且支撐條例如是位于每一承載板彼此鄰近邊緣的承載面上。并且，每一承載板在彼此鄰近邊緣的承載面上還可以具有一下陷表面，而支撐條可以位于承載面的下陷表面上，且支撐條的表面凸出承載板其它區(qū)域的表面。進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，每一承載板在下陷表面的區(qū)域的厚度小于承載板其它區(qū)域的厚度。此外，支撐條更可以自每一承載板的承載面沿著承載板的側(cè)面往承載板的厚度方向延伸。

在本實(shí)用新型實(shí)用新型的一實(shí)施例中，支撐條與基板的接觸面例如為一連續(xù)面，且支撐條與基板的接觸面高于基座的承載面。

在本實(shí)用新型實(shí)用新型的一實(shí)施例中，基座例如具有多個(gè)貫孔，支撐條與基座接觸的一側(cè)例如具有多個(gè)螺孔，其中貫孔分別暴露出螺孔，且固定件例如是分別穿設(shè)貫孔而固定于螺孔上。此外，固定件可以是多個(gè)螺絲，其中每一螺絲具有一螺栓以及一螺帽，螺栓分別穿設(shè)貫孔而鎖附于支撐條的螺孔上。

在本實(shí)用新型實(shí)用新型的一實(shí)施例中，固定件的材質(zhì)例如與支撐條的材質(zhì)不同。

在本實(shí)用新型實(shí)用新型的一實(shí)施例中，固定件的材質(zhì)包括聚醚醚酮(Polyetheretherketone，PEEK)。

在本實(shí)用新型實(shí)用新型的一實(shí)施例中，支撐條的材質(zhì)包括鐵氟龍。

在本實(shí)用新型實(shí)用新型的一實(shí)施例中，承載裝置更可以包括多個(gè)支撐墊，位于承載面上，支撐墊沿著支撐條的長(zhǎng)度方向排列，且支撐墊的排列方向與支撐條相隔一距離。此外，每一支撐墊可以主要是由一螺栓以及一圓頭螺帽所構(gòu)成，每一支撐墊通過(guò)螺栓而鎖固于基座的承載面上，且圓頭螺帽凸出承載面。并且，支撐墊的材質(zhì)包括聚醚醚酮。