[實用新型]MEMS麥克風封裝結構

有效

• 申請號: 200920131246.7
• 申請日: 2009-04-30
• 公開（公告）號: CN201467441U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發明（設計）人: 趙靜;劉輝;楊鋼劍;楊云;馮衛
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;B81B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：包括：MEMS麥克風；基板，所述基板包括一個用承載MEMS麥克風的第一表面；金屬蓋，所述金屬蓋包括一為外圍邊緣部分所界定的中心部分；容室，所述容室由所述金屬蓋的外圍邊緣部分與基板連接形成；所述容室包括一能使外部聲音信號進入MEMS麥克風的聲孔；所述金屬蓋的中間部分與基板隔開形成一空腔，MEMS麥克風容置于空腔內。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：所述第一表面的至少一部分覆蓋有第一導電層，所述MEMS麥克風與所述第一導電層電連接。

3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：所述金屬蓋的外圍邊緣部分與基板之間設有連接層。

4.根據權利要求3所述的MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：所述連接層為粘接層。

5.根據權利要求3所述的MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：所述連接層為封焊層。

6.根據權利要求1所述的MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：所述金屬蓋為杯狀，所述金屬蓋側壁彎折形成有第一連接部，所述連接部的寬度大于金屬蓋側壁的厚度。

7.根據權利要求6所述的MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：所述基板的形狀與所述金屬蓋的開口相適應，且所述金屬蓋的開口的面積大于所述基板的面積，所述第一連接部由金屬蓋側壁向內彎折形成，所述基板容置于所述金屬蓋內，且由所述第一連接部承載。

8.根據權利要求1至7任一項權利要求所述的MEMS麥克風封裝結構，其特征在于：所屬金屬蓋的側壁內側還設有支撐于所述金屬蓋頂部和基板之間的支撐層。