[實用新型]基片清洗容器無效
| 申請號： | 200920126841.1 | 申請日： | 2009-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN201534157U | 公開（公告）日： | 2010-07-28 |
| 發明（設計）人： | 謝鮮武 | 申請（專利權）人： | 謝鮮武 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 401147 重慶市渝*** | 國省代碼： | 重慶;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 容器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基片清洗容器，其特征是該基片清洗容器包括：
內容器，用于存儲基片的清洗液體；
外容器，用于存儲內容器溢出的清洗液體及清洗液體的循環；以及
二組清洗液體噴嘴，用于供給內容器清洗液體；
其中，外容器安裝在內容器外壁上方，清洗液體噴嘴安裝在內容器內壁下方兩側的斜面上。
2.如權利要求1所述的基片清洗容器，其特征是：在所述的內容器內壁下方兩側形成一定角度的斜面。
3.如權利要求1所述的基片清洗容器，其特征是：所述的二組清洗液體噴嘴安裝在內容器內壁下方兩側的斜面上。
4.如權利要求1所述的基片清洗容器，其特征是：所述的二組清洗液體噴嘴供給清洗液體的角度可是固定的，也可是可調節的。
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