[實用新型]檢測基片轉速裝置無效
| 申請號： | 200920126839.4 | 申請日： | 2009-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN201387430Y | 公開（公告）日： | 2010-01-20 |
| 發明（設計）人： | 謝鮮武 | 申請（專利權）人： | 謝鮮武 |
| 主分類號： | G01P3/00 | 分類號： | G01P3/00;G01P3/42 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 401147重慶市渝*** | 國省代碼： | 重慶;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 轉速 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種檢測基片轉速裝置，其特征是該檢測基片轉速裝置包括：
驅動組件，用于驅動主動輪組件旋轉；
主動輪組件，用于支撐基片及驅動基片旋轉；
從動輪組件，用于支撐基片；以及
轉速輪組件及轉速測量傳感器，用于測量轉速輪組件旋轉速度；
其中，主動輪組件與從動輪組件并行排列，支撐及驅動基片旋轉，轉速測量傳感器安裝在轉速輪組件附近，轉速輪組件由從動輪組件驅動。
2.如權利要求1所述的檢測基片轉速裝置，其特征是：所述的主動輪組件主動輪直徑與從動輪組件從動輪直徑相等，或主動輪組件主動輪直徑與從動輪組件從動輪直徑以一定比例設置。
3.如權利要求1所述的檢測基片轉速裝置，其特征是：所述的主動輪組件可由驅動組件通過傳動件驅動，也可由驅動組件直接驅動。
4.如權利要求1所述的檢測基片轉速裝置，其特征是：所述的轉速輪組件可由從動輪組件通過傳動件驅動，也可直接安裝在從動輪組件上。
5.如權利要求1所述的檢測基片轉速裝置，其特征是：所述的轉速測量傳感器可是光電傳感器，也可是電磁傳感器。
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