[實用新型]晶片清洗機

無效

• 申請號: 200920104872.7
• 申請日: 2009-01-09
• 公開（公告）號: CN201357158Y
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發明（設計）人: 胡德良;周云青;薛毓虎;沈彪
• 申請（專利權）人: 江陰市愛多光伏科技有限公司
• 主分類號: B08B11/02
• 分類號: B08B11/02;B08B3/10;H01L21/304
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司
• 代理人: 張春和

技術領域

本實用新型涉及一種晶片的清洗裝置，尤其涉及一種可免除對晶片載盤繁瑣的定位過程，操作方便的晶片清洗機。

背景技術

晶片在制程中所沾附的化學藥劑或雜質，必須經由清洗機適時予以清洗。但現有清洗機的清洗程序，并無治具可供晶片載盤直接定位，使得晶片載盤的定位過程甚是麻煩，故操作很不方便。

發明內容

為了克服現有晶片清洗機存在的對晶片載盤定位過程很麻煩，操作非常不方便的缺點，本實用新型提供一種晶片清洗機，其治具可供晶片載盤直接插置定位，并可直接嵌置定位于清洗筒的轉盤，可免除繁瑣的定位過程，具有操作方便的功效。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種晶片清洗機，其特征在于，其包括一機架；一清洗筒，是設置于機架上，其底緣設有下凸緣；一蓋體，其一側緣借助轉軸樞設于清洗筒上緣，內面設置有清洗部件；一轉盤，是安裝于清洗筒內底部；一馬達，是設置于所述清洗筒的下方，該馬達的上部設有上凸緣，借助該上凸緣利用螺絲與該清洗筒底緣的下凸緣固定一體，而馬達的輸出軸向上穿過設置于清洗筒底部的防水套后，該輸出軸的軸端鎖定在所述轉盤底緣，啟動馬達，馬達通過輸出軸驅動轉盤旋轉；數個定位體，是對稱固定于前述轉盤的表面，該數個定位體相向側上緣形成有凸唇，凸唇與轉盤之間構成嵌槽；數個限位柱，是對稱固定于轉盤表面的邊緣；數個治具，是設置于轉盤的表面上，該數個治具分別直接嵌置于相鄰定位體間的相對應的嵌槽中，每個治具的中央設有供晶片載盤插置的插槽，頂面則形成有槽孔，側面與底面分別設有側流通孔與底流通孔，而端面下緣對應該定位體與轉盤間構成的嵌槽設有嵌體。

前述的晶片清洗機，其中治具由一底座與一上蓋拼組而成。

前述的晶片清洗機，其中蓋體頂面設有掀把。

本發明的優點和有益效果在于，其治具可供晶片載盤直接插置定位，并可直接嵌置定位于清洗筒的轉盤，可免除繁瑣的定位過程，具有操作方便的功效。

附圖說明

圖1是本實用新型的外觀立體示意圖；

圖2是本實用新型縱剖視結構圖；

圖3是圖2所示3-3剖線的剖視圖；

圖4是本實用新型的治具嵌置狀態示意圖；

圖5是本實用新型治具供晶片載盤插置的狀態示意圖；

圖6是本實用新型治具的剖視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本發明的技術方案，而不能以此來限制本發明的保護范圍。

首先，請參閱圖1至圖3所示，本實用新型包括：

一機架10；

一清洗筒11，是設置于機架10上，其底緣設有下凸緣111；

一蓋體12，其一側緣借助轉軸120樞設于清洗筒11上緣，內面設置有清洗部件，本實施例中的清洗部件為清洗液噴嘴121；

一轉盤13，是安裝于清洗筒11內的底部；

一馬達14，是設置于前述清洗筒11的下方，該馬達14的上部設有上凸緣141，借助該上凸緣141利用螺絲142與該清洗筒11底緣的下凸緣111固定一體，而馬達14的輸出軸向上穿過設置于清洗筒11底部的防水套112后，該輸出軸的軸端鎖定在前述轉盤13底緣，啟動馬達14，馬達14通過輸出軸驅動轉盤13旋轉；

數個定位體15，是對稱固定于前述轉盤13的表面，該數個定位體15相向側上緣形成有凸唇151，凸唇151與轉盤13之間構成嵌槽152，如圖4所示；

數個限位柱16，是對稱固定于轉盤13表面的邊緣；

請參閱圖5、6，數個治具17，是設置于轉盤13的表面上，該數個治具17分別直接嵌置于相鄰定位體15間的相對應的嵌槽152中，每個治具17的中央設有供晶片19載盤18插置的插槽171，其頂面則形成有讓晶片19顯露的槽孔172，側面與底面分別設有側流通孔173與底流通孔174，而端面下緣對應該定位體15與轉盤13間構成的嵌槽152設有嵌體175。

前述治具17是由一底座17a與一上蓋17b拼組而成；

前述蓋體12頂面設有掀把122。