[實用新型]晶片清洗機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920104872.7
• 申請日: 2009-01-09
• 公開（公告）號: CN201357158Y
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡德良;周云青;薛毓虎;沈彪
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰市愛多光伏科技有限公司
• 主分類號: B08B11/02
• 分類號: B08B11/02;B08B3/10;H01L21/304
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張春和

1、一種晶片清洗機，其特征在于，其包括：

一機架；

一清洗筒，是設(shè)置于機架上，其底緣設(shè)有下凸緣；

一蓋體，其一側(cè)緣借助轉(zhuǎn)軸樞設(shè)于清洗筒上緣，內(nèi)面設(shè)置有清洗部件；

一轉(zhuǎn)盤，是安裝于清洗筒內(nèi)底部；

一馬達(dá)，是設(shè)置于所述清洗筒的下方，該馬達(dá)的上部設(shè)有上凸緣，借助該上凸緣利用螺絲與該清洗筒底緣的下凸緣固定一體，而馬達(dá)的輸出軸向上穿過設(shè)置于清洗筒底部的防水套后，該輸出軸的軸端鎖定在所述轉(zhuǎn)盤底緣，啟動馬達(dá)，馬達(dá)通過輸出軸驅(qū)動轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)；

數(shù)個定位體，是對稱固定于前述轉(zhuǎn)盤的表面，該數(shù)個定位體相向側(cè)上緣形成有凸唇，凸唇與轉(zhuǎn)盤之間構(gòu)成嵌槽；

數(shù)個限位柱，是對稱固定于轉(zhuǎn)盤表面的邊緣；

數(shù)個治具，是設(shè)置于轉(zhuǎn)盤的表面上，該數(shù)個治具分別直接嵌置于相鄰定位體間的相對應(yīng)的嵌槽中，每個治具的中央設(shè)有供晶片載盤插置的插槽，頂面則形成有槽孔，側(cè)面與底面分別設(shè)有側(cè)流通孔與底流通孔，而端面下緣對應(yīng)該定位體與轉(zhuǎn)盤間構(gòu)成的嵌槽設(shè)有嵌體。

2、如權(quán)利要求1所述的晶片清洗機，其特征在于，所述治具由一底座與一上蓋拼組而成。

3、如權(quán)利要求1所述的晶片清洗機，其特征在于，所述蓋體頂面設(shè)有掀把。