[實用新型]一種單晶硅生產設備的真空裝置

無效

• 申請號: 200920101827.6
• 申請日: 2009-03-10
• 公開（公告）號: CN201363251Y
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發明（設計）人: 崔鵬
• 申請（專利權）人: 寧晉松宮電子材料有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14
• 代理公司: 石家莊科誠專利事務所
• 代理人: 王文慶

技術領域

本實用新型涉及一種真空抽取裝置，尤其是對單晶硅生產設備進行真空抽取得真空裝置。

背景技術

目前，在單晶硅生產過程中，一般涉及單晶硅生產設備(單晶硅拉制爐)及對生產設備進行真空抽取的真空裝置兩部分，其中，生產設備置于上層車間，真空抽取裝置置于下層車間，真空抽取裝置一般包括大罐、與大罐連通的真空管及真空泵組成，真空管與單晶硅生產設備通過球閥進行連接。在對大罐進行清理時，要在上層車間打開球閥進行放氣，使大罐內部壓力由真空狀態達到常壓，因為球閥的直徑較大，打開后大罐里的揮發物會隨氣流從球閥飄出，污染熱系統，影響車間的環境衛生，給正常生產帶來不利影響，其次，打開大罐后還要從車間的下層到上層關閉球閥，耽誤時間，降低了生產效率，使用極為不便。

實用新型內容

為解決現有技術中存在的不足，本實用新型提供了一種能夠減少揮發物對環境的影響、有效地提高工作效率且結構簡單、使用方便的單晶硅生產設備的真空裝置。

為實現上述目的，本實用新型的單晶硅生產設備的真空裝置，主要用于對單晶硅拉制爐進行真空抽取，包括大罐、與大罐連通的真空管及與大罐相連的真空泵，真空管通過球閥與單晶硅拉制爐真空抽取管路相連，在真空管上密封固連有放氣閥。

真空管上設有定位孔，所述的放氣閥固定插裝于定位孔內。

作為上述方式的改進，所述的放氣閥與真空管垂直連接。

采用上述技術方案，在對大罐進行清理時，由于在真空管上加設放氣閥，只需打開放氣閥，由于放氣閥與真空管成角度密封設置，使得在向大罐沖壓過程中，減少了大罐內的揮發物揮發，減少了環境污染；該放氣閥可置于下層車間，只需在下層車間打開放氣閥即可完成對大罐的清理，避免了人工上下層之間的跑動，在提高工作效率的同時，避免人為忘記關閥給生產帶來的影響。

附圖說明

下面結合附圖及具體的實施方式對本實用新型做更進一步詳細說明：

圖1是本實用新型的整體連接結構示意圖；

具體實施方式

由圖1所示可知，該單晶硅生產設備的真空裝置，包括大罐2、與大罐2連通的真空管3及與大罐2相連的真空泵7，真空管3通過球閥4與置于上層車間的單晶硅拉制爐1真空抽取管路5相連，真空管3上設有定位孔，放氣閥6固定插裝于定位孔內。放氣閥6與真空管3垂直連接。