[實用新型]一種單晶硅生產設備的真空裝置無效
| 申請號： | 200920101827.6 | 申請日： | 2009-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN201363251Y | 公開（公告）日： | 2009-12-16 |
| 發明（設計）人： | 崔鵬 | 申請（專利權）人： | 寧晉松宮電子材料有限公司 |
| 主分類號： | F04B37/14 | 分類號： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 石家莊科誠專利事務所 | 代理人： | 王文慶 |
| 地址： | 055550河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 單晶硅 生產 設備 真空 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種單晶硅生產設備的真空裝置，主要用于對單晶硅拉制爐(1)進行真空抽取，包括大罐(2)、與大罐(2)連通的真空管(3)及與大罐(2)相連的真空泵(7)，真空管(3)通過球閥(4)與單晶硅拉制爐(1)真空抽取管路(5)相連，其特征在于：在真空管(3)上密封固連有放氣閥(6)。
2、根據權利要求1所述的單晶硅生產設備的真空裝置，其特征在于：真空管(3)上設有定位孔，所述的放氣閥(6)固定插裝于定位孔內。
3、根據權利要求1或2所述的單晶硅生產設備的真空裝置，其特征在于：所述的放氣閥(6)與真空管(3)垂直連接。
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