[實用新型]一種等離子體化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)線機械傳動裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920094718.6
• 申請日: 2009-11-17
• 公開（公告）號: CN201538815U
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊繼澤;劉萬學(xué);劉志才;崔慶春;孫學(xué)義;馬力斌;強艷建;杜宏荀
• 申請（專利權(quán)）人: 吉林慶達(dá)新能源電力股份有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;H01L31/18
• 代理公司: 吉林省長春市新時代專利商標(biāo)代理有限公司 22204
• 代理人: 石岱

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種太陽能電池生產(chǎn)中對太陽能電池進(jìn)行等離子體化學(xué)沉積PIN層時在設(shè)備內(nèi)的傳動裝置，具體的說是一種等離子體化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)線機械傳動裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有太陽能電池生產(chǎn)中，等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的傳動裝置一直不規(guī)范，各種各樣的傳動裝置都不夠穩(wěn)定，對太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率有較大的影響，需要尋找一種穩(wěn)定的機械傳動裝置，保證在傳輸?shù)倪^程中，穩(wěn)定的對太陽能電池進(jìn)行沉積，進(jìn)而提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是要提供一種在太陽能電池生產(chǎn)中，對太陽能電池進(jìn)行等離子體化學(xué)沉積PIN層時，快速、穩(wěn)定，能夠提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的機械傳動裝置。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：該傳動裝置包括機械手、上片臺、運載小車、導(dǎo)軌、沉積艙室、下片臺，所述的導(dǎo)軌構(gòu)成一個矩形回路，其中上片臺設(shè)置回路中A方向和D方向的交界處，多個沉積艙室設(shè)置在B方向的導(dǎo)軌上，運載小車被設(shè)置在導(dǎo)軌上，下片臺設(shè)置在回路中C方向和D方向的交界處，所述的上片臺和下片臺上設(shè)置有機械手。

本實用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)，使得等離子體化學(xué)氣相沉積的傳動更加穩(wěn)定，具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便等優(yōu)點。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

由附圖所示：該傳動裝置包括機械手1、上片臺2、運載小車3、導(dǎo)軌4、沉積艙室5、下片臺6，所述的導(dǎo)軌4構(gòu)成一個矩形回路，其中上片臺2設(shè)置導(dǎo)軌A方向和D方向的交界處，用來接收機械手放置的未經(jīng)過等離子體化學(xué)氣相沉積的太陽能電池片；所述的沉積艙室5設(shè)置在B方向的導(dǎo)軌上，用來對太陽能電池進(jìn)行等離子體化學(xué)氣相沉積，即沉積PIN層，沉積艙室5數(shù)量一般在十二個左右；所述的運載小車3為金屬結(jié)構(gòu)，被設(shè)置在導(dǎo)軌4上，可在導(dǎo)軌4上無障礙運行，其作用是運載電池經(jīng)過沉積艙室5，對電池進(jìn)行沉積；所述的下片臺6設(shè)置在導(dǎo)軌C方向和D方向的交界處，運載小車3運行到此處后，上面的電池沉積完畢，待機械手1把電池片7取走。

所述的導(dǎo)軌4為摩擦力很小的金屬結(jié)構(gòu)，使運載小車在該矩形結(jié)構(gòu)里無障礙運行。

所述的運載小車3為金屬結(jié)構(gòu)，和導(dǎo)軌溝槽對應(yīng)，可在導(dǎo)軌上無障礙運行，其作用是運載電池經(jīng)過沉積艙室5，對電池進(jìn)行沉積。

該裝置的運行過程如下：未沉積的電池片7被機械手1放到上片臺2上的運載小車3上，運載小車3沿A方向運動，根據(jù)對設(shè)備的操控，運載小車3再沿B方向運動，經(jīng)過十二(不同設(shè)備倉室個數(shù)不同)個沉積艙室5對太陽能電池進(jìn)行沉積，沉積完以后，運載小車3沿C方向運動到下片臺6，機械手1從該運載小車3上取走電池片，空的運載小車3沿D方向回到上片臺2，準(zhǔn)備接收下一電池片7。

在設(shè)備運行時，若干個運載小車3連續(xù)運動。