[實用新型]一種磁控濺射設備的陰極冷卻裝置有效
| 申請號： | 200920094604.1 | 申請日： | 2009-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN201530858U | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發明（設計）人： | 楊繼澤;劉萬學;張兵;王巍;程明輝;左騰;徐柏章;曲爽 | 申請（專利權）人： | 吉林慶達新能源電力股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;H01J37/02;H01J37/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 吉林省長春市新時代專利商標代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 磁控濺射 設備 陰極 冷卻 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種磁控濺射設備的陰極冷卻裝置，其特征在于：該冷卻裝置包括倉體上壁(1)、靶材(2)、降溫板(3)，所述的降溫板(3)設置在倉體上壁(1)和靶材(2)之間，其中在降溫板(3)的內部設置由冷卻水管道(4)。
2.根據權利要求1所述的一種磁控濺射設備的陰極冷卻裝置，其特征在于：所述的降溫板(3)內部設置的冷卻水管道(4)包括兩條管道，其中兩條管道分別帶有進水口(5)和(6)、出水口(7)和(8)，冷卻水管道(4)在降溫板(3)的內部為“M”型排列。
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