[實用新型]一種能自行降溫的磁控濺射倉室

有效

• 申請號: 200920094600.3
• 申請日: 2009-10-29
• 公開（公告）號: CN201530854U
• 公開（公告）日: 2010-07-21
• 發明（設計）人: 楊繼澤;劉萬學;劉志才;崔慶春;程明輝;強艷建;李宇;魏含芳
• 申請（專利權）人: 吉林慶達新能源電力股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;H01L31/18;H01J37/16;H01J37/02;H01J37/34
• 代理公司: 吉林省長春市新時代專利商標代理有限公司 22204
• 代理人: 石岱

技術領域

本實用新型涉及一種在太陽能電池生產設備中的能自行降溫的磁控濺射倉室。

背景技術

太陽能電池生產過程中，太陽能電池在磁控濺射倉室內濺鍍Al層，其中濺鍍過程為：在40℃左右的磁控濺射倉室內，通過磁控濺射作用，使Al濺鍍在太陽能電池片上。上述過程中磁控濺射倉室的溫度大約在100℃，由于濺鍍的時間較長，設備內部要一直保持該溫度，而由于倉室主體為鋼結構，所以長時間的高溫對倉室的結構會產生一定的影響，需要通過對倉室進行改進、降溫，使倉室主體結構保持穩定。

發明內容

本實用新型的目的是要提供一種結構簡單合理、能夠對磁控濺射的倉室本身進行降溫的磁控濺射倉室。

本實用新型的目的是這樣實現的：該倉室包括倉室主體、反光板，所述的反光板設置在倉室主體的內部。

所述的反光板分為四塊分別設置在倉室主體內部的上、下、左右面上，由于倉室主體的前后面需要分別進出電池片，所以不設置反光板。

本實用新型由于采用上述結構，即在倉室主體的內部上下左右增設了反光板，所以在設備運行的過程中，太陽能電池進入倉室后，倉室內部開始加熱，由于反光板的作用，熱量到反光板以后被反射，有效的控制了熱量向倉室主體結構的擴散，防止了倉室主體由于溫度過高發生形變，不會影響設備的正常運行。

附圖說明

圖1為磁控濺射倉室反光板立體示意圖

圖2為磁控濺射沉積倉室的正視圖

具體實施方式

由附圖所示：該降溫裝置包括倉室主體1、反光板2，所述的反光板2設置在倉室主體1的內部。

所述的反光板2分為四塊分別設置在倉室主體1內部的上、下、左右面上，由于倉室主體1的前后面需要分別進出電池片，所以不設置反光板2。

在設備運行的過程中，太陽能電池由前端進入倉室主體1后，倉室內部開始加熱，由于反光板2的作用，熱量會通過反光板2被反射，這樣就有效的控制了熱量向倉室主體1結構的擴散，防止了倉室主體1由于溫度過高發生形變，不會影響設備的正常運行。